當(dāng)華為的麒麟970芯片準(zhǔn)備跟蘋果的A11展開手機(jī)AI新時代爭奪戰(zhàn)時，很多人都在驚呼國產(chǎn)芯片進(jìn)步的速度，然而卻很少有人知道是一個海歸中國人將中國的芯片制造能力縮短了三代距離。

華為麒麟970芯片不久前，央視報道了這樣的一則消息，中微半導(dǎo)體設(shè)備公司將在今年年底正式敲定5nm刻蝕機(jī)！而剛剛發(fā)布的蘋果A11芯片以及華為的麒麟970均是使用10nm工藝。當(dāng)所有的巨頭還在為10nm，7nm技術(shù)大肆進(jìn)軍的時候，中國中微正式宣布掌握5nm技術(shù)，讓對手措手不及，難以置信！原來一直在這一領(lǐng)域沒有任何話語權(quán)的中國內(nèi)地半導(dǎo)體企業(yè)能夠彎道超車！

已年過七旬的尹志堯看起來依然年輕而在中微這個隱形的巨人背后，如今已年過七旬的尹志堯就是那個點燃星火的人。

坐擁60多項專利 它是掌握西方芯片核心科技的技術(shù)狂人

在美國硅谷從事半導(dǎo)體行業(yè)20多年的尹志堯，曾任AppliedMaterials應(yīng)用材料公司的副總裁。91年，尹志堯來到應(yīng)用材料公司，負(fù)責(zé)同一領(lǐng)域的研究開發(fā)工作，先后獲得了60多個美國和國外的專利。尹志堯開發(fā)或參與開發(fā)的產(chǎn)品，現(xiàn)在在這個領(lǐng)域大概占了全世界的50％。另外，還幫助成立了硅谷中國工程師協(xié)會，并擔(dān)任了頭兩任的主席。被譽(yù)為硅谷最有成就的華人之一。

尹志堯曾被認(rèn)為是硅谷最成功的華人代表

考慮到給外國人做嫁衣，已經(jīng)做了很多事情了，高新技術(shù)的本土化成為了他創(chuàng)業(yè)的初衷。2004年尹志堯回國創(chuàng)辦中微半導(dǎo)體時已經(jīng)60歲，當(dāng)時的出租車司機(jī)說他只有38歲，他說太好了，以后自己就是38歲的人。他一直保持著年輕人的活力，一天工作超過16個小時成為家常便飯。這位先后在硅谷英特爾、LAM、應(yīng)用材料三家公司工作逾20年，繼而回國創(chuàng)業(yè)將近10年的古稀老人依然奮戰(zhàn)在研發(fā)一線。中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司CEO尹志堯30年間見證了中西集成電路發(fā)展的興榮。國產(chǎn)芯片制造工藝整整落后巨頭三代如果說在工業(yè)化時代，鋼鐵是工業(yè)的“糧食”，那么在如今的信息化時代，“芯片”則就是現(xiàn)代工業(yè)的“糧食”。中國的芯片行業(yè)一直流傳著這樣一句話，除了水和空氣以外，其它全是從國外進(jìn)口的。即便是能夠自主設(shè)計頂級麒麟芯片的華為，其也要讓中國***企業(yè)臺積電代工！因為在中國內(nèi)地，絕大多數(shù)半導(dǎo)體公司目前僅掌握著生產(chǎn)40nm和28nm規(guī)格的技術(shù)。跟當(dāng)今世界上最高規(guī)格的10 nm半導(dǎo)體技術(shù)整整差了三代！臺積電雖然已經(jīng)到中國大陸投資設(shè)廠，但按照***方面的要求，臺積電大陸工廠的技術(shù)必須落后***三代。因此，可以說，中國芯片制造「痛之久已」。

毫無疑問，一直以來，中國的半導(dǎo)體技術(shù)在市場上是完全沒有競爭力的！但是不攻占這一領(lǐng)域，中國永遠(yuǎn)談不上制造強(qiáng)國。核心技術(shù)上一旦長期受制于人，那么大量的利潤，以及市場的話語權(quán)都會給別人占據(jù)！研究顯示，2015-2020年中國半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)投資額將達(dá)到650億美元，其中芯片制造設(shè)備投資額就將達(dá)到500億美元。但是中國芯片制造設(shè)備的95%都是依賴于進(jìn)口，也就是說需要花480億到國外購買設(shè)備。這也使得中國芯片制造設(shè)備的國產(chǎn)化成為了一件非常迫切的事情。毅然回國 填補(bǔ)國產(chǎn)芯片制造領(lǐng)域空白13年前（2004年），當(dāng)時已經(jīng)60歲的尹志堯放棄了美國的百萬年薪，帶領(lǐng)三十多人的團(tuán)隊，沖破美國政府的層層審查（所有人都承諾不把美國的技術(shù)帶回中國，包括所有工藝配方、設(shè)計圖紙，一切從零開始），回國創(chuàng)辦了中微半導(dǎo)體（以下簡稱中微），他要在芯片制造設(shè)備領(lǐng)域與國際巨頭直接競爭，取得一席之地。尹志堯帶著30多人的團(tuán)隊回到中國，只因為一句話：「學(xué)成只為他日歸來，報效祖國」。

一切從零開始，憑著過去20多年的經(jīng)驗和基礎(chǔ)技術(shù)支持，尹志堯和他的團(tuán)隊很快就開發(fā)出了第一臺國產(chǎn)的生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的設(shè)備——等離子體刻蝕機(jī)。

等離子體刻蝕機(jī)是芯片加工的關(guān)鍵設(shè)備等離子體刻蝕機(jī)是在芯片上進(jìn)行微觀雕刻，刻出又細(xì)又深的接觸孔或者線條，每個線條和深孔的加工精度是頭發(fā)絲直徑的幾千分之一到上萬分之一?！霸诿琢Ｉ峡套值奈⒌窦妓嚿?，一般能刻200個字已經(jīng)是極限，而我們的等離子刻蝕機(jī)在芯片上的加工工藝，相當(dāng)于可以在米粒上刻10億個字的水平?！币緢蜻@樣形容到。

70多歲高齡的尹志堯依然奮戰(zhàn)在研發(fā)一線據(jù)介紹，一個16nm的微觀邏輯器件有60多層微觀結(jié)構(gòu)，要經(jīng)過1000多個工藝步驟，要攻克上萬個技術(shù)細(xì)節(jié)才能加工出來。只看等離子體刻蝕這個關(guān)鍵步驟，它的加工尺度為普通人頭發(fā)絲的五千分之一，加工的精度和重復(fù)性要達(dá)到五萬分之一。中微在剛剛涉足IC芯片介質(zhì)刻蝕設(shè)備時，就推出了65nm等離子介質(zhì)刻蝕機(jī)產(chǎn)品，隨著技術(shù)的進(jìn)步一直做到45nm、32nm、28nm等，現(xiàn)在16nm的蝕機(jī)產(chǎn)品已經(jīng)在客戶的生產(chǎn)線上運(yùn)行了。據(jù)了解，在過去9個多月時間里，中微的反應(yīng)臺交付量已突破400臺；單反應(yīng)臺等離子體刻蝕設(shè)備已交付韓國領(lǐng)先的存儲器制造商；雙反應(yīng)臺介質(zhì)刻蝕除膠一體機(jī)研制成功，這是業(yè)界首次將雙反應(yīng)臺介質(zhì)等離子體刻蝕和光刻膠除膠反應(yīng)腔整合在同一個平臺上。5年四勝 從容應(yīng)對國際巨頭技術(shù)纏訴或許正是由于中微在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的突飛猛進(jìn)，也引來了兩家國外競爭對手挑起的知識產(chǎn)權(quán)訴訟。不過，憑借過硬的自主技術(shù)專利，中微接連獲得的勝利。2008年前后，正當(dāng)中微公司自行開發(fā)12英寸芯片刻蝕機(jī)，準(zhǔn)備進(jìn)入國際一流芯片生產(chǎn)線時，兩家國際巨頭芯片設(shè)備公司找上門來。2007年中微在美國被行業(yè)巨頭應(yīng)用材料公司起訴侵權(quán)，但卻始終舉證無力，中微則抓住機(jī)會適時反訴對方不正當(dāng)競爭，應(yīng)用材料公司顯然對這一情況準(zhǔn)備不足，最終不得不撤訴求和。2009年另一巨頭美國科林研發(fā)又在***起訴中微侵犯其發(fā)明專利，由于中微半導(dǎo)體在前期已作了大量的知識產(chǎn)權(quán)預(yù)警分析和準(zhǔn)備工作，所以，僅用不到一個月時間，公司就決定“以攻為守”，向法院提交了大量證據(jù)，采用“釜底抽薪”的做法，主張科林公司兩項專利無效。同時，企業(yè)還向***智慧財產(chǎn)局主張科林公司的專利無效。

2009年9月8日，***智慧財產(chǎn)法院一審判決科林公司專利無效。中微半導(dǎo)體很快接到了臺積電的訂單。此后，中微半導(dǎo)體又在科林公司上訴的二審中獲勝。在***智慧財產(chǎn)局的交鋒中，中微半導(dǎo)體以充足的證據(jù)，使得科林公司的聚焦環(huán)配置專利于2011年被宣布無效，密封環(huán)專利也被宣布無效，掃除了產(chǎn)品進(jìn)入***市場的知識產(chǎn)權(quán)障礙。攻堅突破5nm工藝 力圖打破歐美技術(shù)壟斷如今，中微正在開發(fā)開發(fā)5納米芯片制造設(shè)備意欲打破德美壟斷。這個技術(shù)要求芯片上的均勻度達(dá)到0.5納米，相當(dāng)于原子水平。目前世界上投入最先進(jìn)的芯片是10納米，而中國能夠量產(chǎn)最新的芯片還在40納米和28納米，和國際最尖端的水平還差3代。在這個高度競爭的行業(yè)，誰能夠在技術(shù)上領(lǐng)先，誰就能占領(lǐng)市場。最先進(jìn)的像英特爾、臺積電、三星它們的14納米已經(jīng)成熟生產(chǎn)了，10納米隨著蘋果A11和華為麒麟970芯片的上市，臺積電率先進(jìn)入到成熟量產(chǎn)期。今年4月，尹志堯的中微半導(dǎo)體公司宣布，已經(jīng)掌握5納米技術(shù)，預(yù)計年底正式敲定5納米刻蝕機(jī)。無獨有偶，兩周后，IBM也宣布掌握5納米技術(shù)。因此，尹志堯這一宣布，意味著中微在核心技術(shù)上突破了外企壟斷，中國半導(dǎo)體技術(shù)第一次占領(lǐng)至高點。同時，中微一些基礎(chǔ)的研發(fā)也不斷地跟進(jìn)尖端技術(shù)，以保證產(chǎn)品的研發(fā)能夠緊緊跟上甚至領(lǐng)先于國際上的技術(shù)發(fā)展水平。據(jù)尹志堯透露，5nm工藝的這代設(shè)備已經(jīng)攻堅5年時間，中微計劃年內(nèi)對5nm工藝進(jìn)行測試。尹志堯要求工程師們務(wù)必今年底推向市場。尹志堯表示，“設(shè)備的研發(fā)比芯片新技術(shù)的研發(fā)至少要提前5年。5納米估計5年以后用戶才能夠用的到，蘋果8是10納米技術(shù)。而且5納米芯片技術(shù)需要50個學(xué)科才能把它集成起來，它的復(fù)雜度要做到人的頭發(fā)絲萬分之一這么小的結(jié)構(gòu)?！?。

中微電子的專利墻目前尹志堯的團(tuán)隊能研發(fā)生產(chǎn)10nm到7nm的設(shè)備已經(jīng)與世界最前沿技術(shù)比肩。這些團(tuán)隊精英中，上百人都曾是美國和世界一流的芯片和設(shè)備企業(yè)的技術(shù)骨干，大都有著20到30多年半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)制造的經(jīng)驗。而且這些工程師們必須有著物理、化學(xué)、機(jī)械、工程技術(shù)等50多種專業(yè)知識背景。愛國科學(xué)家齊發(fā)力 中國芯很快將崛起2013年至2017年，中國多晶硅進(jìn)口從8萬多噸攀升至14萬多噸，其中電子級多晶硅年需求達(dá)4500噸。不過，今年5月24日，中國國家電力投資集團(tuán)公司「黃河水電新能源分公司」正式推出大陸國產(chǎn)高純電子級多晶硅，終于打破國外壟斷。尹志堯的刻蝕機(jī)解決了芯片制造前端的關(guān)鍵性難題，但芯片制造是一個完整的產(chǎn)業(yè)鏈，涉及到的環(huán)節(jié)很多，只有當(dāng)這些關(guān)鍵環(huán)節(jié)形成合力才能真正打破國外的技術(shù)壟斷。而眾多海外學(xué)人陸續(xù)歸國，更帶領(lǐng)中國芯片技術(shù)不斷向前突破，除了尹志堯以外，還有兩位愛國科學(xué)家最為關(guān)鍵。他們分別是在芯片制造關(guān)鍵材料-----高純度濺射金屬靶材上取得突破的姚立軍，以及實現(xiàn)國產(chǎn)研磨液替代進(jìn)口的王淑敏，他們分別在各自的領(lǐng)域打破了國外企業(yè)長期壟斷的局面。雖然芯片制造涉及數(shù)百種技術(shù)、上千種材料，但在尹志堯、姚力軍、王淑敏等一批海外歸國學(xué)人的努力下，中國在芯片制造技術(shù)上的突破如今已經(jīng)正式開始。