01氣體安全

半導(dǎo)體行業(yè)的重要一環(huán)

近年來，半導(dǎo)體行業(yè)氣體泄漏事件時(shí)有發(fā)生，其中不乏美國、日本、韓國等知名半導(dǎo)體制造企業(yè)，由此衍生出的爆燃、光刻機(jī)損毀、超凈車間毀壞、晶圓批量報(bào)廢、人員傷亡等事故令人觸目驚心。

電子氣體是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的基礎(chǔ)材料，品類多達(dá)上百種，成本約占芯片總成本的13%，被譽(yù)為“芯片血液”。

電子氣體多為易燃易爆、有毒有害、腐蝕性、窒息性氣體，一旦發(fā)生泄漏，哪怕是非常微小的泄漏，也可能引起爆炸、人員窒息或中毒事故。

氣體安全是半導(dǎo)體行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要一環(huán)。《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》(GB50646-2020)中有強(qiáng)制性規(guī)定，在儲存、輸送、使用特種氣體的區(qū)域或場所，如氣瓶柜和閥門箱的排風(fēng)管口處、廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處、惰性氣體車間等，應(yīng)設(shè)置特種氣體探測裝置。

02高性能傳感加持

半導(dǎo)體行業(yè)專用氣體檢測儀

漢威科技集團(tuán)推出的半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀GD-HS10，是一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的高端自研產(chǎn)品，具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點(diǎn)，可檢測氨氣、砷化氫、氯氣、硅烷等上百種氣體，適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。

廣泛覆蓋

支持上百種氣體檢測

支持電化學(xué)、催化、光學(xué)等多種原理的氣體傳感器，可檢測上百種氣體，支持個(gè)性化定制。

使用方便

傳感器模組即插即用

傳感器采用模塊化設(shè)計(jì)，即插即用，更換、維護(hù)更方便靈活。

性能領(lǐng)先

超遠(yuǎn)距離高精度檢測

進(jìn)氣管長達(dá)30米，可進(jìn)行超遠(yuǎn)距離檢測；每種氣體均采用對應(yīng)溫度補(bǔ)償及融合算法，可實(shí)現(xiàn)ppm級高精度精準(zhǔn)檢測。

直觀顯示

點(diǎn)陣式大屏一目了然

點(diǎn)陣式LCD大屏顯示界面美觀易讀，氣體名稱、濃度、報(bào)警情況等一目了然，適合國內(nèi)用戶習(xí)慣。

目前，漢威科技集團(tuán)的半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀GD-HS10已經(jīng)成功應(yīng)用于多家半導(dǎo)體制造工廠，并獲得用戶的一致認(rèn)可。

結(jié)語

半導(dǎo)體行業(yè)是關(guān)乎國家安全和科技競爭力的戰(zhàn)略性先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)，氣體安全是行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的重要一環(huán)。作為氣體傳感器與安全儀表領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，漢威科技集團(tuán)將以高端自研產(chǎn)品護(hù)航半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。