導(dǎo)讀

當(dāng)半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)快速擴(kuò)張，市場(chǎng)規(guī)模即將突破1萬(wàn)億美元大關(guān)，氣體泄漏檢測(cè)“盲點(diǎn)”如何破解？

半導(dǎo)體行業(yè)繁榮背后

氣體泄漏檢測(cè)存“盲點(diǎn)”

隨著AI、芯片、具身智能等行業(yè)的迅猛發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)也迎來(lái)新一輪產(chǎn)能擴(kuò)張潮。據(jù)瑞銀預(yù)測(cè)，2026年，全球半導(dǎo)體行業(yè)同比增速將超過(guò)40%，市場(chǎng)規(guī)模將首次突破1萬(wàn)億美元。

在半導(dǎo)體行業(yè)快速擴(kuò)建投產(chǎn)的進(jìn)程中，氣體安全至關(guān)重要。電子特氣具有可燃、有毒、有害特性，廣泛應(yīng)用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等制造工藝。在氣體存儲(chǔ)、輸送、使用過(guò)程中，可能出現(xiàn)氣體泄漏，威脅工作人員生命安全。依據(jù)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》(GB50646-2020)，需安裝氣體探測(cè)裝置對(duì)其進(jìn)行持續(xù)性泄漏監(jiān)測(cè)。

值得注意的是，部分電子特氣化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，如NF3、C5F8、 C4F6、 CH2F2、CH3F等，傳統(tǒng)的基于電化學(xué)傳感器的氣體探測(cè)器無(wú)法對(duì)其直接檢測(cè)，性能穩(wěn)定性氣體成為半導(dǎo)體工廠中的安全檢測(cè)“盲點(diǎn)”。

怎么確定待測(cè)氣體中是否存在這類(lèi)穩(wěn)定氣體，以及如何測(cè)定其具體濃度呢？

一個(gè)確切可行的思路就是，先將待測(cè)氣體通過(guò)熱裂解方式，轉(zhuǎn)化成可被檢測(cè)的氣體，進(jìn)而逆向推算出是否存在目標(biāo)氣體及其濃度。這種“曲線救國(guó)”式探測(cè)方案的關(guān)鍵就在于熱裂解單元。

國(guó)內(nèi)首創(chuàng)安全組合

漢威熱裂解單元+氣體檢測(cè)儀

漢威科技集團(tuán)推出國(guó)內(nèi)首創(chuàng)、自主研發(fā)的熱裂解單元GD-PU10、半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀GD-HS10，可探測(cè)包括性能穩(wěn)定性氣體在內(nèi)的上百種可燃、有毒、有害氣體。該產(chǎn)品已取得多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利，核心性能行業(yè)領(lǐng)先，適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等領(lǐng)域。

可擴(kuò)展探測(cè)性能穩(wěn)定性氣體

熱裂解單元GD-PU10可通過(guò)持續(xù)高溫環(huán)境將化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的含氟氣體裂解為化學(xué)性質(zhì)活潑的HF（氟化氫）氣體，搭配半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀GD-HS10，可擴(kuò)展探測(cè)NF3、C5F8等多種含氟氣體。

上百種傳感器即插即用

傳感器采用模塊化設(shè)計(jì)，即插即用，更換維護(hù)靈活方便，支持搭配電化學(xué)、催化、光學(xué)等多種原理傳感器，滿足不同客戶的個(gè)性化需求。

ppb級(jí)高精度檢測(cè)

每種氣體傳感器均采用對(duì)應(yīng)溫度補(bǔ)償及融合算法，可實(shí)現(xiàn)ppb級(jí)高精度檢測(cè)，靈敏度高、響應(yīng)速度快，核心性能業(yè)內(nèi)領(lǐng)先。

30米遠(yuǎn)距離檢測(cè)

搭配超穩(wěn)定電磁泵吸模塊，進(jìn)氣管最長(zhǎng)可達(dá)30米，輕松進(jìn)行遠(yuǎn)距離檢測(cè)，便于多個(gè)檢測(cè)儀產(chǎn)品矩陣化集中管理。

目前，漢威科技集團(tuán)的熱裂解單元GD-PU10、半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀GD-HS10已成功應(yīng)用于多家半導(dǎo)體制造工廠，獲得客戶的廣泛認(rèn)可。

結(jié)語(yǔ)

電子特氣是半導(dǎo)體行業(yè)“芯片血液”，氣體安全是高質(zhì)量發(fā)展的基石。漢威科技集團(tuán)作為氣體傳感器與安全儀表領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，將以高端自研傳感器為核心的智慧安全解決方案護(hù)航半導(dǎo)體行業(yè)安全。