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IGBT功率半導體器件測試難點、主要測試指標及應(yīng)對檢測方案有哪些?

pss2019 ? 來源:pss2019 ? 作者:pss2019 ? 2025-07-03 15:48 ? 次閱讀
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新能源汽車受800V驅(qū)動,以主逆變?yōu)榇淼腟iC滲透全面提速,貢獻最大下游市場并帶動充電樁、光儲及UPS市場逐步增長。碳化硅器件當前以電壓等級600-1700V,功率等級10kW-1MW的硅基IGBT為主要替代對象.以下五類細分應(yīng)用成為當前及未來的核心潛力領(lǐng)域:

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800V架構(gòu)帶來的直接性能提升,疊加供給端、應(yīng)用端、成本端多重利好,推動新能源汽車成為SiC未來5年核心應(yīng)用陣地。

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IGBT功率半導體器件測試難點

IGBT是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場效應(yīng)管)組成的復合全控型電壓驅(qū)動式功率半導體器件,兼有高輸入阻抗和低導通壓降兩方面的優(yōu)點;同時IGBT芯片屬于電力電子芯片,需要工作在大電流、高電壓、高頻率的環(huán)境下,對芯片的可靠性要求較高。這給IGBT測試帶來了一定的困難:

1、IGBT是多端口器件,需要多種儀表協(xié)同測試;

2、IGBT的漏電流越小越好,需要高精度的設(shè)備進行測試;

3、IGBT的電流輸出能力很強,測試時需要快速注入1000A級電流,并完成壓降的采樣;

4、lGBT耐壓較高,一般從幾千到一萬伏不等,需要測量儀器具備高壓輸出和高壓下nA級漏電流測試的能力;

5、由于IGBT工作在強電流下,自加熱效應(yīng)明顯,嚴重時容易造成器件燒毀,需要提供us級電流脈沖信號減少器件自加熱效應(yīng);

6、輸入輸出電容對器件的開關(guān)性能影響很大,不同電壓下器件等效結(jié)電容不同,C-V測試十分有必要。

IGBT功率半導體器件測試指標

lGBT的測試包括靜態(tài)參數(shù)測試、動態(tài)參數(shù)測試、功率循環(huán)、HTRB可靠性測試等,這些測試中蕞基本的測試就是靜態(tài)參數(shù)測試。IGBT靜態(tài)參數(shù)主要包含:柵極-發(fā)射極閾值電壓VGE(th)、柵極-發(fā)射極漏電流lGEs、集電極-發(fā)射極截止電流lcEs、集電極-發(fā)射極飽和電壓VcE(sat)、續(xù)流二極管壓降VF、輸入電容Ciss、輸出電容Coss、反向傳輸電容Crsso,只有保證IGBT的靜態(tài)參數(shù)沒有問題的情況下,才進行像動態(tài)參數(shù)(開關(guān)時間、開關(guān)損耗、續(xù)流二極管的反向恢復)、功率循環(huán)、HTRB可靠性方面進行測試。

普賽斯IGBT靜態(tài)參數(shù)測試機集多種測量和分析功能一體,可精準測量功率器件(MOSFET、BJT、IGBT等)的靜態(tài)參數(shù),電壓可高達3.5KV,電流可高達6KA。該系統(tǒng)可測量不同封裝類型的功率器件的靜態(tài)參數(shù),具有高電壓和大電流特性,uΩ級電阻,pA級電流精準測量等特點。支持高壓模式下測量功率器件結(jié)電容,如輸入電容,輸出電容、反向傳輸電容等。

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PMDT功率器件動態(tài)參數(shù)測試系統(tǒng)是一款專用于MOSFET、IGBT、SiC MOS等器件的動態(tài)參數(shù)測試,能夠安全便捷的測試功率器件的開關(guān)延時和損耗,評估器件的安全工作區(qū),對器件和驅(qū)動電路的短路保護特性進行驗證,測量功率組件的雜散電感。設(shè)備既可以用于功率器件選型評估,又可以用于驅(qū)動電路和功率母排的優(yōu)化設(shè)計,能夠幫助用戶開發(fā)性能更優(yōu)化、工作更可靠的電力電子功率平臺。

審核編輯 黃宇

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