據(jù)徐州日?qǐng)?bào)報(bào)道，近日，徐州高新區(qū)再傳捷報(bào)—— 江蘇集芯先進(jìn)材料有限公司（以下簡稱 “江蘇集芯”）成功出爐首枚 8 英寸液相法（LPE）高質(zhì)量碳化硅單晶。經(jīng)檢測，晶體面型、晶型與結(jié)晶質(zhì)量均達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，標(biāo)志著江蘇集芯在第三代半導(dǎo)體核心材料領(lǐng)域再下一城，也為我國碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控寫下關(guān)鍵一筆。

碳化硅晶體是第三代半導(dǎo)體的重要基礎(chǔ)材料，在6/8 英寸物理氣相傳輸法（PVT）已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的基礎(chǔ)上，江蘇集芯 “自我革命”，僅用半年便完成液相法工藝從 6 英寸到 8 英寸的研發(fā)跨越。相比 PVT，液相法在生產(chǎn)效率、材料利用率、成本控制及大尺寸擴(kuò)徑等方面優(yōu)勢顯著，被公認(rèn)為下一代碳化硅長晶的核心路線。全球范圍內(nèi)，僅極少數(shù)頂尖機(jī)構(gòu)曾試制出液相法晶體，真正邁入 8 英寸級(jí)仍屬罕見。江蘇集芯此次突破為未來低成本、低缺陷、易摻雜的碳化硅晶體生產(chǎn)打通了 “快車道”。

截至目前，江蘇集芯已布局專利167 件，其中發(fā)明專利 83 件，覆蓋晶體生長等全流程。此次液相法 8 英寸單晶的成功，將進(jìn)一步夯實(shí)其 “大尺寸 + 低成本” 雙輪驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略，為后續(xù)產(chǎn)能擴(kuò)張、市場份額提升和長期價(jià)值增長奠定技術(shù)底座。

江蘇集芯的新突破，不僅提升了我國第三代半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略安全水平，也為徐州打造千億級(jí)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群注入了“加速度”，有望吸引更多上下游企業(yè)集聚，形成 “材料 — 芯片 — 系統(tǒng)” 完整生態(tài)，進(jìn)一步放大區(qū)域在全球新興產(chǎn)業(yè)版圖中的聲量與影響力。

來源：半導(dǎo)體芯科技

審核編輯 黃宇