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國產(chǎn)百噸級KrF光刻膠樹脂產(chǎn)線正式投產(chǎn)

Simon觀察 ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:黃山明 ? 2025-08-10 03:26 ? 次閱讀
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電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道
近日,八億時空宣布其KrF光刻膠百噸級半導(dǎo)體制程高自動化研發(fā)/量產(chǎn)雙產(chǎn)線順利建成,標(biāo)志著我國在中高端光刻膠領(lǐng)域的自主化進(jìn)程邁出關(guān)鍵一步。

此次建成的KrF光刻膠產(chǎn)線采用“研發(fā)+量產(chǎn)”雙軌并行模式,總產(chǎn)能達(dá)百噸級,是目前國內(nèi)規(guī)模領(lǐng)先的KrF光刻膠生產(chǎn)基地。產(chǎn)線集成了高自動化控制系統(tǒng),從原料配比到成品檢測的全流程實(shí)現(xiàn)智能化管控,不僅大幅提升了生產(chǎn)效率,更確保了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

研發(fā)線專注于新型KrF光刻膠配方的迭代與工藝優(yōu)化,將針對不同制程節(jié)點(diǎn)的需求開展定制化研發(fā);量產(chǎn)線則聚焦規(guī)模化生產(chǎn),可滿足130nm至28nm制程的光刻工藝需求。這種研產(chǎn)一體的布局,既保證了技術(shù)創(chuàng)新的持續(xù)性,又能快速響應(yīng)市場對中高端光刻膠的量產(chǎn)需求。

KrF光刻膠作為半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料,主要應(yīng)用于中高端芯片的光刻工藝,其性能直接影響芯片的分辨率與良率。長期以來,該領(lǐng)域的市場份額被日本信越化學(xué)、JSR等少數(shù)國際巨頭壟斷,國內(nèi)依賴進(jìn)口的局面始終制約著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。

八億時空的KrF光刻膠產(chǎn)線采用了自主研發(fā)的核心配方與生產(chǎn)工藝,通過引入先進(jìn)的潔凈車間設(shè)計(jì)和高精度涂布技術(shù),產(chǎn)品的靈敏度、分辨率等關(guān)鍵指標(biāo)已達(dá)到國際主流水平。

產(chǎn)線的順利投產(chǎn),意味著我國在中高端光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了從實(shí)驗(yàn)室研發(fā)到工業(yè)化生產(chǎn)的跨越,為突破海外技術(shù)封鎖提供了實(shí)質(zhì)性支撐。

產(chǎn)線達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)首年?duì)I收將突破億元大關(guān),未來五年產(chǎn)能將階梯式增長至200-300噸。目前,公司已與多家頭部光刻膠廠商建立合作,產(chǎn)品覆蓋邏輯芯片、存儲芯片等主流制程。

隨著AI芯片、HBM等新興技術(shù)的爆發(fā),高端光刻膠需求年均增速超20%,這條產(chǎn)線有望成為國產(chǎn)替代的核心力量。

隨著國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,光刻膠作為 “芯片制造的靈魂材料”,市場需求持續(xù)攀升。據(jù)行業(yè)數(shù)據(jù)顯示,2024年我國KrF光刻膠市場規(guī)模已突破50億元,年復(fù)合增長率超過15%,但國產(chǎn)化率不足10%,供需缺口顯著。?

八億時空預(yù)計(jì),該產(chǎn)線在2025年下半年將實(shí)現(xiàn)千萬元級別的收入規(guī)模,隨著產(chǎn)能逐步釋放,有望在未來3年內(nèi)占據(jù)國內(nèi)KrF光刻膠市場15%以上的份額。

業(yè)內(nèi)分析認(rèn)為,此產(chǎn)線的落成將加速國內(nèi)光刻膠市場的國產(chǎn)化替代進(jìn)程,推動半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)鏈的整體升級,為我國芯片制造產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展注入新動能。


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