在精密制造領(lǐng)域，隨著對(duì)精度的要求已步入納米級(jí)別，不論是實(shí)驗(yàn)室里的科研突破，還是工業(yè)制造中的高精尖生產(chǎn)，激光干涉儀作為精密測(cè)量的核心技術(shù)，憑借其高精度、高靈敏度和大量程等優(yōu)勢(shì)，已然成為這些領(lǐng)域不可或缺的精密坐標(biāo)系。它可以測(cè)量鏡片等的表面平整度，保障鏡片性能的完整。而壓電納米定位技術(shù)憑借其獨(dú)特性能，讓這個(gè)坐標(biāo)系的刻度更清晰、更穩(wěn)定。

一、激光干涉儀：用光的波長(zhǎng)當(dāng)尺子

激光干涉儀的核心原理是利用光的干涉現(xiàn)象，通過(guò)測(cè)量?jī)墒喔晒獾木嚯x差變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)位移、角度、平面度等物理量的高精度測(cè)量。具體來(lái)說(shuō)，它會(huì)把一束激光分成兩束：一束走固定的參考光路，另一束走移動(dòng)的被測(cè)物體的測(cè)量光路。兩束光再次相遇時(shí)，會(huì)因路徑差產(chǎn)生干涉條紋，再通過(guò)計(jì)算條紋的變化來(lái)計(jì)算被測(cè)物體的位移量、角度差和表面平整度等。

激光干涉儀的精度，離不開四大核心部件的配合：

1.激光器：激光發(fā)射裝置是干涉儀的基礎(chǔ)，用來(lái)提供單色性、相干性極強(qiáng)的光源，光穩(wěn)定才能保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。

2.干涉儀主體：負(fù)責(zé)分束、合束，例如邁克爾遜干涉結(jié)構(gòu)，決定了干涉條紋的生成方式。

3.探測(cè)器：捕捉干涉條紋的變化，把光信號(hào)轉(zhuǎn)成電信號(hào)，是讀取測(cè)量數(shù)值的監(jiān)視器。

4.定位與調(diào)節(jié)系統(tǒng)：控制參考鏡、測(cè)量鏡的微小姿態(tài)，例如角度、位置等，以及驅(qū)動(dòng)被測(cè)物體移動(dòng)。

其中定位調(diào)節(jié)系統(tǒng)的作用非常關(guān)鍵，因?yàn)榧す飧缮鎯x的測(cè)量精度會(huì)被微小的振動(dòng)、光路偏移、環(huán)境干擾嚴(yán)重影響。舉例來(lái)說(shuō)：即使參考鏡偏移0.01微米，干涉條紋都會(huì)失真，測(cè)量結(jié)果直接作廢。這就像用顯微鏡觀察細(xì)胞時(shí)，物鏡突然的移動(dòng)或載物臺(tái)抖動(dòng)，視野都會(huì)模糊。而激光干涉儀要測(cè)量的是納米級(jí)位移，對(duì)定位系統(tǒng)的要求十分嚴(yán)格。

二、芯明天壓電納米定位技術(shù)-更穩(wěn)定，更精準(zhǔn)

芯明天壓電納米定位技術(shù)為實(shí)現(xiàn)激光干涉儀的高精度移相需求提供了關(guān)鍵解決方案。激光干涉儀的測(cè)量是利用移相干涉術(shù)，它需要非常精確、線性、已知的相位步進(jìn)。壓電納米定位臺(tái)（PZT）正好能滿足在微米級(jí)的微小范圍內(nèi)進(jìn)行納米級(jí)精度的位移控制。

通過(guò)壓電控制器對(duì)PZT壓電納米定位臺(tái)進(jìn)行控制，可以輕松實(shí)現(xiàn)多次（如4、5、7次等）等步長(zhǎng)的移相，快速采集多幅干涉圖，然后通過(guò)算法（如相移算法）計(jì)算出被測(cè)物表面的精確相位分布，進(jìn)而得到其平面度信息。

芯明天壓電技術(shù)的核心能力，完美契合激光干涉儀的需求：

1.納米級(jí)定位精度

定位精度高，滿足測(cè)量過(guò)程中微小調(diào)整需求，可進(jìn)行亞納米級(jí)的步進(jìn)移相。

2.毫秒級(jí)響應(yīng)速度

壓電納米定位臺(tái)的響應(yīng)時(shí)間可達(dá)毫秒級(jí)，可進(jìn)行快速的等長(zhǎng)步進(jìn)操作。

3.超高穩(wěn)定性

一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)提供高剛性、高負(fù)載能力，負(fù)載能力可高達(dá)25kg以上，可適用于小型鏡片以及大型鏡片的移相調(diào)整。

P77系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)

芯明天P77系列大負(fù)載壓電納米定位臺(tái)/移相器是專為光學(xué)檢測(cè)移相應(yīng)用而設(shè)計(jì)，行程范圍可達(dá)100μm，負(fù)載能力可高達(dá)25kg，非常適于各種鏡片、鏡頭的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。P77壓電納米定位臺(tái)常用于激光平面干涉儀（斐索干涉儀）中，用于檢測(cè)光學(xué)元件，如透鏡、鏡片的表面平整度、平行度以及均勻性等。P77系列可依據(jù)客戶的鏡片檢測(cè)要求量身定制中心通孔尺寸。

★特點(diǎn)

·行程范圍：0~100μm

·通孔直徑：Φ36至Φ310mm

·承載能力可達(dá)25kg

·可選水平/立式/倒置安裝使用

·可定制

·真空版本可選

審核編輯 黃宇