測(cè)量需求

檢查床CT滑軌運(yùn)行的定位精度、重復(fù)精度、直線度，旋轉(zhuǎn)架的旋轉(zhuǎn)精度和旋轉(zhuǎn)定位精度。

激光干涉儀測(cè)量方案

SJ6000激光干涉儀搭配線性鏡組+角度鏡組+直線度鏡組+WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

1、測(cè)量?jī)?yōu)勢(shì)

測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，分辨率 1nm，最長(zhǎng)支持80m測(cè)長(zhǎng)距離；支持360°任意角度測(cè)量，旋轉(zhuǎn)精度±1″；
配備溫度補(bǔ)償模塊，可實(shí)時(shí)采集現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境溫濕度對(duì)激光波長(zhǎng)和測(cè)量材料進(jìn)行補(bǔ)償，使測(cè)量結(jié)果更準(zhǔn)確；
測(cè)試結(jié)果可生成數(shù)據(jù)圖表和報(bào)告，并自動(dòng)分析生成補(bǔ)償數(shù)據(jù)從而補(bǔ)償?shù)较到y(tǒng)，提高運(yùn)行精度。

2、測(cè)試步驟

（1）安裝調(diào)試
把三腳架調(diào)整到合適高度，激光干涉儀放置在三腳架上，調(diào)整至與CT滑軌同高。線性反射鏡放置于滑軌上，隨測(cè)量軸一起移動(dòng)，通過調(diào)整主機(jī)和線性鏡組，確保光路與檢測(cè)軸平行，此時(shí)光路搭建完成。

（2）數(shù)據(jù)采集
測(cè)量行程0-650mm，間隔25mm，往返1次，越程1mm，激光干涉儀暫停時(shí)間2S，設(shè)備運(yùn)行暫停3S（注意設(shè)備暫停時(shí)間大于激光干涉儀設(shè)定時(shí)間1S）。設(shè)備和激光干涉儀設(shè)置程序一致即可開始運(yùn)行測(cè)量。

（3）數(shù)據(jù)補(bǔ)償
測(cè)量結(jié)束后，軟件可通過算法自動(dòng)生成補(bǔ)償數(shù)據(jù)。

補(bǔ)償前：定位精度81.173um,重復(fù)定位精度2.683um。檢測(cè)出的“實(shí)際位置數(shù)據(jù)”和“理論位置數(shù)據(jù)”存在顯著差異，未滿足出廠標(biāo)準(zhǔn)。

補(bǔ)償后：定位精度7.037um，重復(fù)定位精度1.328um，補(bǔ)償精度后大大提升了CT掃描儀的診斷準(zhǔn)確性。