近年來隨著高性能顯示器用量需求日漸增加。為突破OLED、LCD傳統(tǒng)的短板，F(xiàn)PD廠家相繼推出mini-LED、micro-LED技術?；谙嚓P半導體制程精度的提升，晶圓圖像缺陷檢測也需要更高精度大靶面、且適應不同波段光學鏡頭，基于這種綜合需求茉麗特推出了大靶面高清MML5-HR60/80鏡頭。

一、應用場景

1、mini / micro-LED缺陷檢測

在mini/Micro LED工藝中光電缺陷與結(jié)構(gòu)性缺陷，會致使屏幕的顯示效果不理想，嚴重影響用戶體驗。

2、晶圓缺陷檢測

在mini/Micro LED工藝中光電缺陷與結(jié)構(gòu)性缺陷，會致使屏幕的顯示效果不理想，嚴重影響用戶體驗。

二、應用難點

Mini LED 與Micro LED自發(fā)光波段跨度大，普通鏡頭拍攝無法同時清晰對焦三個像素。

三、光學方案

可以采用MORITEX 大靶面高清5x鏡頭+65MP相機。根據(jù)mini LED、Micro LED顯示技術的發(fā)光原理與基材不同，產(chǎn)生的RGB三色光的中心波長稍有區(qū)別，MORITEX在5X放大倍率φ43mm靶面的基礎上，細分出了MML5-HR60DVI-43M58與MML5-HR80DVI-43M58。

四、應用優(yōu)勢

1、優(yōu)異的色差校正

MML5-HR60DVI-43M58：在復消色差后，物方色差控制在1μ以內(nèi)，側(cè)重520~530nm波段的軸向色差校正, 適合micro-LED檢測；

MML5-HR80DVI-43M58：480-660nm波段色差控制在5μ以內(nèi)，側(cè)重580nm波長的軸向色差校正，更適合miniLED檢測。

兩鏡頭在特定波長做了針對性的軸向色差校正來適應不同顯示面板的檢測，除此之外帶有同軸光插孔，使用不同波長的光源針對同一樣品分時打光時（如紅色環(huán)光+藍色點光、綠色背光+藍色點光）也可消除因移焦造成的圖像模糊。

2、更高分辨率