在全球科技競爭格局加速重構(gòu)的當(dāng)下，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控能力已不僅是產(chǎn)業(yè)發(fā)展的保障，更成為關(guān)乎國家科技安全與核心競爭力的戰(zhàn)略核心。回溯過往，中國半導(dǎo)體制造領(lǐng)域曾長期陷入“被動(dòng)”—在晶圓搬運(yùn)、真空傳輸?shù)汝P(guān)鍵生產(chǎn)環(huán)節(jié)，幾乎完全依賴進(jìn)口設(shè)備。國際廠商憑借數(shù)十年技術(shù)積累與全生態(tài)壟斷優(yōu)勢，牢牢占據(jù)全球90%以上的市場份額，形成了難以突破的技術(shù)壁壘與市場壁壘，成為制約中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向高端邁進(jìn)的“隱形枷鎖”。

近年來，面對(duì)這一產(chǎn)業(yè)困境，國家密集釋放多項(xiàng)政策紅利，為關(guān)鍵設(shè)備與核心零部件國產(chǎn)化替代注入強(qiáng)勁動(dòng)力。而在眾多“卡脖子”環(huán)節(jié)中，半導(dǎo)體機(jī)器人作為鏈接制造流程、保障精度的核心裝備，國產(chǎn)化進(jìn)程已從“可選”轉(zhuǎn)為“必選”。

在此背景下，新時(shí)達(dá)旗下眾為興正式推出自研的半導(dǎo)體機(jī)器人系列產(chǎn)品，并在行業(yè)內(nèi)建成首家 Class 1級(jí)潔凈室，實(shí)現(xiàn)從設(shè)計(jì)、驗(yàn)證到量產(chǎn)的全流程國產(chǎn)化閉環(huán)。這標(biāo)志著新時(shí)達(dá)在高端制造領(lǐng)域的又一次關(guān)鍵突破。

打破潔凈壁壘
自主驅(qū)控構(gòu)筑核心競爭力

半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度的要求極為苛刻，任何微小顆粒都可能導(dǎo)致芯片報(bào)廢。面對(duì)這一行業(yè)“零容忍”標(biāo)準(zhǔn)，新時(shí)達(dá)以系統(tǒng)化思維，重構(gòu)產(chǎn)品設(shè)計(jì)，從結(jié)構(gòu)優(yōu)化、材料擇優(yōu)到運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)架構(gòu)，全面針對(duì)潔凈與真空環(huán)境進(jìn)行創(chuàng)新突破。

目前，眾為興半導(dǎo)體機(jī)器人已達(dá)到 ISO Class 2級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)，并通過德國萊茵TüV SEMI認(rèn)證及上海國家機(jī)器人檢測與評(píng)定中心潔凈等級(jí)認(rèn)證，核心性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。

為了從源頭保障潔凈制造質(zhì)量，新時(shí)達(dá)在上海新建行業(yè)首個(gè)Class 1級(jí)潔凈室生產(chǎn)線，專用于眾為興半導(dǎo)體機(jī)器人裝配、性能測試與可靠性驗(yàn)證。潔凈室內(nèi)溫度濕度、顆粒濃度和靜電控制均按照晶圓廠級(jí)標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)，實(shí)現(xiàn)了從產(chǎn)品裝配、設(shè)備調(diào)試到出廠檢測的全流程潔凈化管理，全面展示了眾為興半導(dǎo)體機(jī)器人在潔凈裝配與高精度驗(yàn)證領(lǐng)域的專業(yè)實(shí)力與工程能力。

與此同時(shí)，新時(shí)達(dá)旗下眾為興持續(xù)深耕運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)二十余年，聚焦“驅(qū)控一體化”核心方向，成功自主研發(fā)出 SDC420/SDC620系列低壓直驅(qū)驅(qū)控一體控制器。該系列產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了運(yùn)動(dòng)控制與伺服驅(qū)動(dòng)的高度融合，相較傳統(tǒng)“控制器+驅(qū)動(dòng)器”分體方案，具備更高的同步性與可靠性，能夠?qū)崿F(xiàn)±0.05 mm的高精度定位，滿足晶圓級(jí)搬運(yùn)的嚴(yán)苛要求。

在真空環(huán)境適配方面，新時(shí)達(dá)采用非接觸式扭矩傳輸技術(shù)與低發(fā)塵、耐真空材料體系，突破了外資長期壟斷的真空驅(qū)動(dòng)核心壁壘。無論是在真空腔體內(nèi)的高精度搬運(yùn)，還是在大氣環(huán)境下的高速交接，其穩(wěn)定性與潔凈性能均達(dá)到國際一線水平。

“潔凈、高精度、可控”成為眾為興半導(dǎo)體機(jī)器人產(chǎn)品的核心關(guān)鍵詞。這不僅是對(duì)性能的追求，更代表著中國智能制造裝備企業(yè)在高端自動(dòng)化領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力和民族自信。

從晶圓制造到封測搬運(yùn)
構(gòu)建完整應(yīng)用版圖

新時(shí)達(dá)的半導(dǎo)體機(jī)器人產(chǎn)品，已實(shí)現(xiàn)從大氣環(huán)境到真空環(huán)境的全場景覆蓋。其產(chǎn)品矩陣包含八大系列、數(shù)十款型號(hào)，涵蓋晶圓制造、封裝封測、通用搬運(yùn)等全工藝場景。

眾為興TBA系列 5軸大氣圓柱坐標(biāo)雙臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

在前道晶圓制造環(huán)節(jié)，產(chǎn)品主要應(yīng)用于氧化、刻蝕、沉積、清洗等制程的晶圓傳輸與上片下片工位；在封裝與測試環(huán)節(jié)，機(jī)器人承擔(dān)載板搬運(yùn)與自動(dòng)上下料；同時(shí)，在通用物流環(huán)節(jié)，其推出了針對(duì)潔凈環(huán)境的轉(zhuǎn)運(yùn)與倉儲(chǔ)機(jī)器人解決方案。

眾為興AHY系列 4軸真空直驅(qū)雙臂Q型晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

這些產(chǎn)品均基于模塊化平臺(tái)設(shè)計(jì)，可根據(jù)不同客戶需求靈活配置機(jī)械臂結(jié)構(gòu)、控制系統(tǒng)和通信接口，并完全符合 SEMI 國際標(biāo)準(zhǔn)，支持快速集成到現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備中。

客戶信任：從驗(yàn)證走向批量應(yīng)用

憑借在潔凈性能與控制技術(shù)上的突破，眾為興的半導(dǎo)體機(jī)器人已陸續(xù)在多家晶圓廠與設(shè)備廠實(shí)現(xiàn)落地應(yīng)用。

在中芯國際、杭州富芯的生產(chǎn)線中，產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)階段；在BYD、芯源微、晶盛機(jī)電等客戶的封測與設(shè)備制造環(huán)節(jié)，眾為興半導(dǎo)體機(jī)器人已成為企業(yè)導(dǎo)入國產(chǎn)化替代方案的重要選擇。同時(shí)，新時(shí)達(dá)還與季華實(shí)驗(yàn)室、吉姆西等科研機(jī)構(gòu)建立聯(lián)合測試平臺(tái)，用于開展高潔凈度、高精度搬運(yùn)的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。

這些成功案例不僅意味著國產(chǎn)化技術(shù)和產(chǎn)品可行性被市場驗(yàn)證，也代表著國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備生態(tài)正加速走向成熟。

以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)，構(gòu)筑國產(chǎn)裝備新高地

如今，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正處于“關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化”的攻堅(jiān)階段。憑借在潔凈環(huán)境適配、真空兼容性以及自主驅(qū)控一體化技術(shù)上的領(lǐng)先優(yōu)勢，并獲得多家 FAB 與 OEM 客戶的信任與驗(yàn)證，新時(shí)達(dá)正加速構(gòu)建國產(chǎn)半導(dǎo)體機(jī)器人技術(shù)標(biāo)桿，為國產(chǎn)設(shè)備崛起提供可復(fù)制的路徑與行業(yè)示范。

從 Class 1 潔凈室的精密落成，到核心產(chǎn)品在晶圓廠與設(shè)備廠的量產(chǎn)落地，新時(shí)達(dá)的技術(shù)突破不僅是企業(yè)發(fā)展的里程碑，更是中國半導(dǎo)體制造“國產(chǎn)化浪潮”的關(guān)鍵注腳。作為高端裝備領(lǐng)域的國產(chǎn)力量代表，新時(shí)達(dá)每一臺(tái)半導(dǎo)體機(jī)器人的迭代升級(jí)，不僅凝聚著中國工程師攻堅(jiān)克難的智慧與韌勁，更承載著打破國外技術(shù)壟斷、構(gòu)建自主可控產(chǎn)業(yè)鏈的時(shí)代重任。

在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭日趨激烈的當(dāng)下，新時(shí)達(dá)以硬核技術(shù)實(shí)力重塑 “中國制造” 在高端裝備領(lǐng)域的話語權(quán) —— 從核心部件的自主研發(fā)到生產(chǎn)場景的深度適配，其突破不僅為中國半導(dǎo)體制造打通了 “卡脖子” 環(huán)節(jié)的關(guān)鍵堵點(diǎn)，更以點(diǎn)帶面推動(dòng)整個(gè)高端制造業(yè)向 “智能升級(jí)、自主可控” 的方向邁進(jìn)。這背后，是一家企業(yè)對(duì)產(chǎn)業(yè)使命的堅(jiān)守，更是中國從 “制造大國” 向 “制造強(qiáng)國” 跨越的生動(dòng)縮影，彰顯著中國高端制造在全球產(chǎn)業(yè)鏈中崛起的堅(jiān)定底氣與強(qiáng)大勢能。