電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報(bào)道 在芯片制造領(lǐng)域,光刻膠用光引發(fā)劑長(zhǎng)期被美日韓企業(yè)壟斷,成為制約我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵“卡脖子”技術(shù)。近日,這一局面被打破——湖北興福電子材料股份有限公司以4626.78萬(wàn)元收購(gòu)湖北三峽實(shí)驗(yàn)室重大科技成果“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實(shí)驗(yàn)設(shè)備所有權(quán)”,標(biāo)志著我國(guó)在這一關(guān)鍵材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破性進(jìn)展。
“這不僅是一項(xiàng)技術(shù)成果的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化,更是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進(jìn)程中的重要突破?!睒I(yè)內(nèi)專家評(píng)價(jià),作為光刻膠的“心臟”組件,光引發(fā)劑的國(guó)產(chǎn)化突破,將為國(guó)產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)打通上游關(guān)鍵堵點(diǎn),緩解國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)“卡脖子”的緊迫壓力。
長(zhǎng)期以來(lái),全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)被日本JSR、東京應(yīng)化、美國(guó)陶氏化學(xué)等海外巨頭壟斷,其中G/I線光刻膠用光引發(fā)劑作為芯片和顯示領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料,幾乎完全依賴美日韓進(jìn)口。中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示,2024年我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)80.5億元,同比增長(zhǎng)25.39%,但半導(dǎo)體光刻膠90%的市場(chǎng)份額被海外廠商掌控,上游關(guān)鍵原材料的“卡脖子”問(wèn)題尤為突出。
“近年來(lái),國(guó)內(nèi)許多半導(dǎo)體客戶頻繁遭遇光引發(fā)劑限購(gòu)和斷供,導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)光刻膠生產(chǎn)線頻頻‘停擺’?!焙比龒{實(shí)驗(yàn)室主任池汝安直言,光引發(fā)劑的供應(yīng)短缺,已成為制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)定運(yùn)行的重要瓶頸。這種供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)在逆全球化趨勢(shì)下愈發(fā)凸顯,推動(dòng)關(guān)鍵材料國(guó)產(chǎn)化成為產(chǎn)業(yè)共識(shí)。
“這是一次市場(chǎng)需求倒逼的研發(fā)創(chuàng)新,企業(yè)出題,實(shí)驗(yàn)室答題?!焙比龒{實(shí)驗(yàn)室主任表示。
企業(yè)的痛點(diǎn),成為科研機(jī)構(gòu)的攻關(guān)方向。2021年底由興發(fā)集團(tuán)牽頭成立的湖北三峽實(shí)驗(yàn)室,將微電子新材料列為核心研究方向之一,其科研團(tuán)隊(duì)以“90后”“00后”為主力,長(zhǎng)期深耕半導(dǎo)體關(guān)鍵化學(xué)品研發(fā)。當(dāng)興福電子提出委托研發(fā)意向后,實(shí)驗(yàn)室當(dāng)即組建專項(xiàng)團(tuán)隊(duì),開(kāi)啟光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻堅(jiān)之旅。
“面向產(chǎn)業(yè)需求做研發(fā),本就是湖北實(shí)驗(yàn)室的特色和使命。”池汝安介紹,研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)三年上千次實(shí)驗(yàn),在分子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、合成工藝控制、材料純化技術(shù)等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)取得突破,最終攻克了光引發(fā)劑制備的核心技術(shù)難題。2025年5月,上海一家光刻膠龍頭企業(yè)的檢測(cè)結(jié)果給出了關(guān)鍵驗(yàn)證:“送樣各項(xiàng)指標(biāo)與國(guó)外進(jìn)口廠商達(dá)到同一水平?!?br />
2月9日,興福電子發(fā)布公告,宣布以4626.78萬(wàn)元收購(gòu)湖北三峽實(shí)驗(yàn)室的“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實(shí)驗(yàn)設(shè)備所有權(quán)”。評(píng)估報(bào)告顯示,該專有技術(shù)估值達(dá)4155.87萬(wàn)元。
配套的實(shí)驗(yàn)設(shè)備共46臺(tái),包括開(kāi)式反應(yīng)鍋、冷媒槽、冷水槽等三個(gè)合成模塊的放大制備工藝裝置。這些設(shè)備目前保養(yǎng)良好,可正常使用。
此次交易構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易,興福電子表示,這將進(jìn)一步拓展公司產(chǎn)品品類、優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局,提高公司在半導(dǎo)體行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。
“這不僅是一項(xiàng)技術(shù)成果的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化,更是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控進(jìn)程中的重要突破?!睒I(yè)內(nèi)專家評(píng)價(jià),作為光刻膠的“心臟”組件,光引發(fā)劑的國(guó)產(chǎn)化突破,將為國(guó)產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)打通上游關(guān)鍵堵點(diǎn),緩解國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)“卡脖子”的緊迫壓力。
“卡脖子”之痛:光引發(fā)劑成國(guó)產(chǎn)光刻膠軟肋
在芯片制造的“微細(xì)雕刻”工序中,光刻膠是不可或缺的核心材料,被譽(yù)為電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)“皇冠上的明珠”。而光引發(fā)劑作為光刻膠的關(guān)鍵功能成分,直接決定了光刻膠的感光度、分辨率和成像質(zhì)量,是影響芯片制程精度的核心要素之一。長(zhǎng)期以來(lái),全球半導(dǎo)體光刻膠市場(chǎng)被日本JSR、東京應(yīng)化、美國(guó)陶氏化學(xué)等海外巨頭壟斷,其中G/I線光刻膠用光引發(fā)劑作為芯片和顯示領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料,幾乎完全依賴美日韓進(jìn)口。中商產(chǎn)業(yè)研究院數(shù)據(jù)顯示,2024年我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模達(dá)80.5億元,同比增長(zhǎng)25.39%,但半導(dǎo)體光刻膠90%的市場(chǎng)份額被海外廠商掌控,上游關(guān)鍵原材料的“卡脖子”問(wèn)題尤為突出。
“近年來(lái),國(guó)內(nèi)許多半導(dǎo)體客戶頻繁遭遇光引發(fā)劑限購(gòu)和斷供,導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)光刻膠生產(chǎn)線頻頻‘停擺’?!焙比龒{實(shí)驗(yàn)室主任池汝安直言,光引發(fā)劑的供應(yīng)短缺,已成為制約國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈穩(wěn)定運(yùn)行的重要瓶頸。這種供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)在逆全球化趨勢(shì)下愈發(fā)凸顯,推動(dòng)關(guān)鍵材料國(guó)產(chǎn)化成為產(chǎn)業(yè)共識(shí)。
“這是一次市場(chǎng)需求倒逼的研發(fā)創(chuàng)新,企業(yè)出題,實(shí)驗(yàn)室答題?!焙比龒{實(shí)驗(yàn)室主任表示。
三年攻堅(jiān):“企業(yè)出題、實(shí)驗(yàn)室答題”的產(chǎn)學(xué)研范本
這次技術(shù)突破的背后,是一場(chǎng)“市場(chǎng)需求倒逼研發(fā)創(chuàng)新”的產(chǎn)學(xué)研協(xié)同攻關(guān)。主攻電子級(jí)磷酸、硫酸等濕電子化學(xué)品的興福電子,早有切入光引發(fā)劑產(chǎn)業(yè)賽道的規(guī)劃,但從0到1的核心技術(shù)研發(fā)風(fēng)險(xiǎn)讓企業(yè)望而卻步?!耙坏┭邪l(fā)失敗,巨大的投入和時(shí)間成本將難以承受?!迸d福電子總工程師賀兆波的顧慮,正是國(guó)內(nèi)不少企業(yè)在關(guān)鍵材料研發(fā)上的普遍困境。企業(yè)的痛點(diǎn),成為科研機(jī)構(gòu)的攻關(guān)方向。2021年底由興發(fā)集團(tuán)牽頭成立的湖北三峽實(shí)驗(yàn)室,將微電子新材料列為核心研究方向之一,其科研團(tuán)隊(duì)以“90后”“00后”為主力,長(zhǎng)期深耕半導(dǎo)體關(guān)鍵化學(xué)品研發(fā)。當(dāng)興福電子提出委托研發(fā)意向后,實(shí)驗(yàn)室當(dāng)即組建專項(xiàng)團(tuán)隊(duì),開(kāi)啟光引發(fā)劑關(guān)鍵技術(shù)的攻堅(jiān)之旅。
“面向產(chǎn)業(yè)需求做研發(fā),本就是湖北實(shí)驗(yàn)室的特色和使命。”池汝安介紹,研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)三年上千次實(shí)驗(yàn),在分子結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、合成工藝控制、材料純化技術(shù)等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)取得突破,最終攻克了光引發(fā)劑制備的核心技術(shù)難題。2025年5月,上海一家光刻膠龍頭企業(yè)的檢測(cè)結(jié)果給出了關(guān)鍵驗(yàn)證:“送樣各項(xiàng)指標(biāo)與國(guó)外進(jìn)口廠商達(dá)到同一水平?!?br />
2月9日,興福電子發(fā)布公告,宣布以4626.78萬(wàn)元收購(gòu)湖北三峽實(shí)驗(yàn)室的“光刻膠用光引發(fā)劑制備專有技術(shù)及實(shí)驗(yàn)設(shè)備所有權(quán)”。評(píng)估報(bào)告顯示,該專有技術(shù)估值達(dá)4155.87萬(wàn)元。
配套的實(shí)驗(yàn)設(shè)備共46臺(tái),包括開(kāi)式反應(yīng)鍋、冷媒槽、冷水槽等三個(gè)合成模塊的放大制備工藝裝置。這些設(shè)備目前保養(yǎng)良好,可正常使用。
此次交易構(gòu)成關(guān)聯(lián)交易,興福電子表示,這將進(jìn)一步拓展公司產(chǎn)品品類、優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局,提高公司在半導(dǎo)體行業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力。
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? ? 引言 ? 在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,光刻膠剝離工藝是關(guān)鍵環(huán)節(jié),但其可能對(duì)器件性能產(chǎn)生負(fù)面影響。同時(shí),光刻圖形的精確測(cè)量對(duì)于保證芯片制造質(zhì)量至關(guān)重要。本文將探討減少光刻膠剝離工藝影響的方法,并介紹白光
光刻膠產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀
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光刻膠剝離液及其制備方法及白光干涉儀在光刻圖形的測(cè)量
引言 在半導(dǎo)體制造與微納加工領(lǐng)域,光刻膠剝離液是光刻膠剝離環(huán)節(jié)的核心材料,其性能優(yōu)劣直接影響光刻膠去除效果與基片質(zhì)量。同時(shí),精準(zhǔn)測(cè)量光刻圖形對(duì)把控工藝質(zhì)量意義重大,白光干涉儀為此提供了
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評(píng)論