二維材料因其獨特的電子與光學性質(zhì)成為前沿研究熱點。準確表征其光學響應，尤其是復介電函數(shù)，對理解其物理機制與器件應用至關(guān)重要。傳統(tǒng)光學方法受限于信號強度與靈敏度，而光譜橢偏儀通過探測偏振態(tài)變化，能夠?qū)崿F(xiàn)超薄材料的高精度光學常數(shù)提取，已成為該領(lǐng)域不可或缺的工具。Flexfilm全光譜橢偏儀可以非接觸對薄膜的厚度與折射率的高精度表征，廣泛應用于薄膜材料、半導體和表面科學等領(lǐng)域。

本文系統(tǒng)回顧了光譜橢偏儀在二維材料光學性質(zhì)研究中的關(guān)鍵作用，涵蓋石墨烯、過渡金屬二硫化物及其有機薄膜等體系。SE憑借其高靈敏度與無損特性，可精確獲取介電函數(shù)、激子共振、光學各向異性等重要參數(shù)，并揭示層間耦合、基底效應等物理現(xiàn)象。盡管存在模型依賴性與空間分辨率等局限，SE仍是二維材料光學表征的核心手段，未來結(jié)合人工智能與計算光子學有望進一步推動其發(fā)展。

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方法與建模

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SE測量原理示意圖，展示了偏振光在樣品反射后的變化

用于SE分析的物理多層MLG/Ni結(jié)構(gòu)（左）與多層光學模型（右）的映射關(guān)系

SE測量基于Ψ和Δ兩個參數(shù)，通過建立分層光學模型并擬合實驗數(shù)據(jù)，反演出材料的光學常數(shù)。常用模型包括：

三維平板模型：適用于具有明確厚度的薄膜；

二維片層模型：用于描述原子級薄層，避免厚度定義困難。

建模中需考慮表面粗糙度、各向異性及梯度折射率等實際因素，并選用合適的色散模型（如 Lorentz、Drude?Lorentz、Tauc?Lorentz 等）描述介電函數(shù)譜。近年來，機器學習方法為 SE 數(shù)據(jù)分析提供了新的高效途徑。

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石墨烯與金屬基底的界面效應

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鎳基底上多層石墨烯的光學電導率的實部（σ?）

SE 研究發(fā)現(xiàn)，鎳基底上多層石墨烯的π→π躍遷從4.6 eV紅移至4.38 eV，揭示了界面電荷轉(zhuǎn)移與能帶雜化對光學性質(zhì)的顯著調(diào)控。

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單層 TMDs 的激子物理

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單層二硫化鉬（MoS?）在300 K（上圖）和68 K（下圖）下的介電函數(shù)虛部（??）

單層MoS?、WS?等材料在低溫下表現(xiàn)出銳化的A、B激子峰，并可分裂為中性激子與帶電激子。該分裂行為與合成方法密切相關(guān)，表明SE可用于評估材料質(zhì)量與摻雜類型。

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層數(shù)依賴的光學性質(zhì)演變

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單層（彩色線）與體材料（灰色線）TMDs（MoSe?, WSe?, MoS?, WS?）的介電函數(shù)虛部（??）比較

從體材料到單層，TMDs中高能的C、D躍遷發(fā)生明顯藍移（150–300 meV），而A激子變化較小，反映了不同電子態(tài)對層間耦合的敏感程度差異。

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多層 TMDs 的各向異性與雙曲特性

多層MoS?, MoSe?, MoTe?, WS?, WSe?的復介電函數(shù)的面內(nèi)（粗線）與面外（細線）分量

多層TMDs在近紅外波段具有高面內(nèi)折射率（如MoTe?達4.84 @1550 nm）和強雙折射。某些金屬性TMDs更展現(xiàn)出天然的雙曲色散行為，為集成光子學與超構(gòu)材料提供新平臺。

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有機薄膜的梯度與工藝依賴性

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有機薄膜的光學性質(zhì)常呈現(xiàn)深度方向的折射率梯度，且受基底處理與沉積工藝影響顯著，需采用梯度模型進行精確分析。

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挑戰(zhàn)與展望

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SE面臨模型依賴性、空間分辨率限制、復雜樣品表征等挑戰(zhàn)。未來發(fā)展趨勢包括：

發(fā)展原位、實時 SE 監(jiān)測技術(shù)；

結(jié)合穆勒矩陣橢偏以解析更復雜的各向異性；

融合人工智能實現(xiàn)數(shù)據(jù)自動分析與模型優(yōu)化；

構(gòu)建二維材料光學數(shù)據(jù)庫，助力計算輔助的光子器件設(shè)計。

光譜橢偏儀已成為揭示二維材料光學性質(zhì)的關(guān)鍵實驗手段，在激子物理、界面效應、各向異性與維度效應等研究中發(fā)揮不可替代的作用。隨著方法學與交叉技術(shù)的進步，SE 將繼續(xù)推動二維材料在光電子、納米光子學等領(lǐng)域的深入發(fā)展與實際應用。

Flexfilm全光譜橢偏儀

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全光譜橢偏儀擁有高靈敏度探測單元和光譜橢偏儀分析軟件，專門用于測量和分析光伏領(lǐng)域中單層或多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如厚度）和物理參數(shù)（如折射率n、消光系數(shù)k）

• 先進的旋轉(zhuǎn)補償器測量技術(shù)：無測量死角問題。
• 粗糙絨面納米薄膜的高靈敏測量：先進的光能量增強技術(shù)，高信噪比的探測技術(shù)。
• 秒級的全光譜測量速度：全光譜測量典型5-10秒。
• 原子層量級的檢測靈敏度：測量精度可達0.05nm。

Flexfilm全光譜橢偏儀能非破壞、非接觸地原位精確測量超薄圖案化薄膜的厚度、折射率,結(jié)合費曼儀器全流程薄膜測量技術(shù)，助力半導體薄膜材料領(lǐng)域的高質(zhì)量發(fā)展。

#橢偏儀#二維材料#過渡金屬硫族化物#光學各向異性#激子

原文參考：《SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY FOR TWO-DIMENSIONAL MATERIALS: METHODS, OPTICAL MODELING, AND EMERGING PHENOMENA》

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