混頻器是變頻過程中的關(guān)鍵器件，廣泛應用于通信和雷達系統(tǒng)。

三端口晶圓上測量裝置
您的任務(wù)
在晶圓上精確表征高頻混頻器和其他變頻器件以進行設(shè)備建模和驗證，這在毫米波頻段中變得越來越具有挑戰(zhàn)性。對于這些應用所需的變頻損耗和匹配等混頻器測量，推薦使用 R&S?ZNA 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀 (VNA)。
根據(jù)混頻器的拓撲結(jié)構(gòu)，在高于 VNA 最高頻率的頻率下，需要在混頻器的多個端口配置毫米波變頻器。此外，為了獲取完整的測量結(jié)果，還需要從不同位置探測被測設(shè)備 (DUT)。

與探針臺的機械集成
羅德與施瓦茨解決方案
要直接在晶圓上進行高精度三端口混頻器測量，尤其是在太赫茲頻率范圍內(nèi)，需要使用兼具性能、靈活性和無縫集成的解決方案。四端口 R&S?ZNA 矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀非常適合這種任務(wù)。
與外部變頻器結(jié)合使用時，分析儀能夠在射頻、本振和中頻通路上進行測量，非常適合在極高頻范圍內(nèi)精確表征混頻器特性。
該解決方案的一大突出優(yōu)勢在于其與 MPI Corporation 晶圓上探針臺的高效機械集成。
毫米波變頻器可以輕松安裝在 MPI 探針臺的各個主要方向。羅德與施瓦茨提供完整的毫米波變頻器產(chǎn)品，頻率最高可達 1.1 THz，非常適合混頻器測試。變頻器的機械設(shè)計為顯微鏡靠近晶圓提供了充足空間。
R&S?ZNA 的先進架構(gòu)內(nèi)置多達四個相位相參的信號源和八個高動態(tài)范圍接收機，為執(zhí)行高性能測量提供了堅實的基礎(chǔ)。R&S?ZNA 還支持使用兩個不同的變頻器頻段，能夠滿足射頻和本振頻率位于不同波導頻段的 DUT 要求。
這種配置確保分析儀單機即可完成重要的混頻器測量，例如變頻損耗、壓縮、隔離度和匹配測量。

QAlibria? 晶圓級射頻校準軟件
三端口頻率擴展器集成
MPI 的探針臺支持同時在東、西、北三個方向各安裝一個頻率擴展器，屬于業(yè)內(nèi)首創(chuàng)。這樣能夠直接在晶圓上進行真正的三端口毫米波和亞太赫茲測量，非常適合表征寬帶混頻器等變頻設(shè)備。
該配置支持多種頻率擴展器，包括 D 頻段（110 GHz 至 170 GHz）和 G 頻段（140 GHz 至 220 GHz），并可通過波導探針直接連接每個擴展器。這有效縮短了射頻傳輸路徑，從而最大程度地提高了功率傳輸、相位穩(wěn)定性和指向性，同時降低了高頻測量的插入損耗和不確定性。
這得益于多款 MPI 探針系統(tǒng)，包括 TS150-THZ，這是一款針對毫米波和太赫茲探測而優(yōu)化的 150 mm 手動探針臺。其他手動和自動化 MPI 探針臺也可通過相同的機械設(shè)計實現(xiàn)三端口集成。該設(shè)計確保穩(wěn)固安裝頻率擴展器，同時保證顯微鏡的操作空間和探針定位的靈活性。要獲得一致且精確的測量結(jié)果，需要確保探針接觸穩(wěn)定且可重復，尤其是在多個端口和波導頻段中進行測試時。
校準通過 MPI 校準片或由 QAlibria? 軟件管理的晶圓上定制標準件完成，大大簡化了校準流程，同時保證了校準的精度與可重復性。
總結(jié)
將R&S?ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀與MPI Corporation的先進探針解決方案相結(jié)合，可直接在晶圓上開展高達太赫茲頻率的高精度三端口混頻器測量。這一組合實現(xiàn)了卓越的性能、高度的靈活性以及出色的機械集成能力。該測量裝置適用于復雜的表征任務(wù)，例如變頻損耗、匹配及隔離度的測量。多功能的R&S?ZNA矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀與MPI Corporation創(chuàng)新的探針臺強強聯(lián)手，助力工程師突破混頻器表征的極限，為下一代太赫茲與高速射頻技術(shù)的研發(fā)提供可靠精準的測量結(jié)果。

審核編輯 黃宇