氦質譜檢漏儀利用磁偏轉原理制成的、對示漏氣體氦反應靈敏的、用于檢漏的質譜儀。氦質譜檢漏儀氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦質譜泄漏檢測儀在氣體泄漏檢測中有許多應用領域，如管道和設備泄漏檢測、有害氣體排放風險檢測、空氣污染源檢測、燃料管道火災隱患檢測、空腔封裝電子元器件密封性檢測等。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

一、設備主要技術指標

1、最小可檢漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s2、 最小可檢漏率（吸槍模式）：1×10-7 Pa·m3 /s3、檢漏口壓力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa4、粗抽能力：14.5m3 /h(包裝箱、配件總重130kg)5、氦氣抽速（Gross模式）：8 l/s6、氦氣抽速（Fine模式）：7 l/s7、氦氣抽速（Ultra模式）：2.5 l/s8、 檢漏口規(guī)格：DN 25 ISO-KF9、啟動時間：≤170s10、接口：RS-232/485 USB11、輸入/輸出接口：Digital I/O,Relays

二、測試標準

JEDEC JESD22-A109B

在氣密性檢漏方面擁有豐富的經驗和卓越的技術實力。實驗室配備了先進的測試設備和嚴格的質量控制流程，能夠為客戶提供高標準的氣密性檢漏試驗服務。

三、測試參數

氣密性：Pa·m3/s、atm.cc/s、mbar·L/s

四、適用樣品和大小尺寸

適用于大小不超過（長80mm*寬80mm*高40mm）需要做氦氣檢漏的空腔（實體中有一部分是空的）樣品 。

五、為什么要檢漏呢？

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進或流出這個空間，如真空設備(真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產不能進行，或者產生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調冰箱的雪種容器等等)，要求在容器內外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。這些對密封性有要求的產品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質譜檢漏儀進行檢漏檢查。

六、漏氣體的選擇及特性分析

氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮：

1、無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

2、質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

3、化學性質穩(wěn)定，不會引起化學反應和易燃易爆;

4、在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦分子在質譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質量及粘滯系數小，因而極易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無毒、無危險，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質譜檢漏儀(調整到僅對氦起反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質譜檢漏儀立即有所反應，從而可知漏孔所在位置及檢測到漏氣量大小。