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摘要：對近年來硅微機械加工技術(shù)(MEMs)工藝研制的幾種微傳聲器進行了論述，對其優(yōu)缺點進行分析和研究表明：這些傳統(tǒng)的傳聲器主要起聲電轉(zhuǎn)換的作用，對噪聲信號的濾波處理是由專用濾波電路完成?；蛘哂脭?shù)字濾波進行處理。為此提出了一種硅微陣列濾波器傳聲器，在轉(zhuǎn)換信號的同時實現(xiàn)濾波。討論了阻尼和硅簧片根數(shù)對動態(tài)特性的影響，并由此得出：阻尼的增加會降低傳聲器的靈敏度，簧片根數(shù)的增加可以改善靈敏度曲線。而且在獲取噪聲信號的同時能夠?qū)崿F(xiàn)濾波。
關(guān)鍵詞：微機械；傳聲器；濾波器
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