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微電子機械系統(tǒng) （Micro Electron-Mechxniaal System-MEMS）是在微電子技術基礎上發(fā)展起來的-i3新興技術。它涉及到微電子學、光學、聲學、磁管、氣動力學、流體力學與自動控制等多個學科。MEMS是涌過半導體微細加工技術及微機械加工技術在硅等半導體基板上制作的一種微型電子機械裝置。微機械可以分為幾個等級：特征尺寸在Imm一1。二 的為小型機械，Ipm一Imtn的為微型機構，1。一1lxm的為納米機械。當前，MEMS正向多功能化方向發(fā)展，即集微型機械、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理與控制電路、接口、電源和通信等單元于一體，成為一個完整的機械電子系統(tǒng)。
微電子機械系統(tǒng)
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