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針對高速動車組軸箱軸承溫度變化迅速的特點，研制了一種以NiCr/NiSi薄膜為敏感材料的特種結(jié)構(gòu)薄膜傳感器。采用自行開發(fā)的標定系統(tǒng)對直流脈沖磁控濺射技術(shù)制備的薄膜傳感器進行動靜態(tài)特性標定，結(jié)果表明所研制的薄膜傳感器在30～400℃內(nèi)具有良好的線性度，其塞貝克系數(shù)為37.84 uV/℃，非線性擬合誤差小于0.7%，動態(tài)響應時間為53.72 ms。特種結(jié)構(gòu)薄膜傳感器磨損實驗結(jié)果表明：傳感器測溫端的磨損對其溫度測試的動靜態(tài)特性影響很小，即測溫端部分磨損不影響其測溫性能。
傳感器
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