資料介紹
為了實現(xiàn)對多層薄膜結構厚度進行快速準確的測量和無損定量評價,研制了二維光學相干層析( Optical Coherence Tomo-graphy,OCT)系統(tǒng),避免了傳統(tǒng)一維OCT系統(tǒng)逐點掃描導致成像效率低下的問題。闡述了去除OCT共軛鏡像理論,采用了五步相移干涉法,具體由壓電驅動器驅動參考鏡實現(xiàn),做到了對OCT共軛鏡像的去除,避免出現(xiàn)OCT圖像的混疊。所研制的OCT系統(tǒng)具有極高的系統(tǒng)分辨率和較好的信噪比,可以實現(xiàn)對手機鋼化玻璃薄膜內部四層結構厚度(鋼化玻璃、靜電膠層l、防爆貼膜和靜電膠層2)進行準確測量。實驗結果表明:白研制的系統(tǒng)可快速高精度地對多層薄膜結構厚度進行測量,可以推薦使用在多層薄膜的無損定量評價中。

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