等離子體可以通過(guò)多種方式來(lái)產(chǎn)生，常見(jiàn)的方法主要包括：熱電離法/射線輻照法/光電離法/激波等離子法/激光等離子法/氣體放電法等。氣體放電是指氣體在電場(chǎng)的作用下被擊穿引起的導(dǎo)電現(xiàn)象，而低溫等離子體的產(chǎn)生方式主要是通過(guò)氣體放電來(lái)實(shí)現(xiàn)的。下面主要介紹通過(guò)氣體放電來(lái)產(chǎn)生低溫等離子體的各種方式：

　　1.1.輝光放電：輝光放電屬于低壓放電，是一種穩(wěn)定的自持放電，其結(jié)構(gòu)是在封閉的容器中放入兩塊平行電極板，電子使分子和中性原子激發(fā)，粒子會(huì)發(fā)生從激發(fā)態(tài)降到基態(tài)并伴隨著光能量的釋放。每種氣體都會(huì)有其獨(dú)特的輝光放電顏色。

　　1.2.電暈放電：電暈放電是指處在不均勻電場(chǎng)中的氣體介質(zhì)發(fā)生的局部自持放電。常見(jiàn)的發(fā)生方法是在曲率半徑小的電極上外加高電壓，這樣靠近電極的電場(chǎng)強(qiáng)度非常大，極易產(chǎn)生氣體電離和電子發(fā)射，形成電暈。

　　1.3.介質(zhì)阻擋放電：介質(zhì)阻擋放電是指絕緣介質(zhì)處于放電空間中產(chǎn)生的一種非平衡態(tài)的氣體放電現(xiàn)象，故又稱(chēng)無(wú)聲放電或者介質(zhì)阻擋電暈放電。絕緣介質(zhì)所起的作用是防止產(chǎn)生電弧放電或者火花放電。介質(zhì)阻擋放電具有大空間內(nèi)放電均勻和高氣壓運(yùn)行穩(wěn)定的特點(diǎn)。電極沒(méi)有直接和放電氣體有接觸，因而避免了電極受腐燭的問(wèn)題。此外，介質(zhì)阻擋放電的電子密度非常高，常壓下即可生成大體積的低溫。介質(zhì)阻擋放電綜合了以上各方面的優(yōu)點(diǎn)，不但能在正常氣壓下產(chǎn)生低溫等離子體，而且密度很高，可操作性好。介質(zhì)阻擋放電可以在很寬的電壓/頻率和氣壓范圍內(nèi)產(chǎn)生等離子體，可以產(chǎn)生足夠多的等離子體來(lái)完成凈化。

　　通過(guò)以上的說(shuō)明，可以發(fā)現(xiàn)：輝光放電的優(yōu)點(diǎn)是能產(chǎn)生大體積強(qiáng)激發(fā)的低溫等離子體，缺點(diǎn)是必須保持很低的氣壓;電暈放電可以在正常的氣壓下產(chǎn)生等離子體，但是密度較低，不適用于工業(yè)應(yīng)用;介質(zhì)阻擋放電綜合了以上幾種方法的優(yōu)點(diǎn)，不但能在正常氣壓下產(chǎn)生低溫等離子體，而且密度很高。

　　此外，介質(zhì)阻擋放電還具有以下幾個(gè)方面的優(yōu)點(diǎn)：

　　1.3.1.能量利用率高：正常工作后，介質(zhì)阻擋放電裝置的等離子體區(qū)域會(huì)形成很多半徑約0.1毫米的微放電通道，以此能量可以多處分布，提高利用效率。

　　1.3.2.控制性好：在試驗(yàn)和實(shí)際應(yīng)用過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)節(jié)電極的形狀/放電的頻率/放電的電壓/溫度等輕松地完成對(duì)等離子體裝置的控制。

　　1.3.3.可操作性能高：介質(zhì)阻擋可以在很寬的電壓/頻率和氣壓范圍內(nèi)放電產(chǎn)生等離子體，可以產(chǎn)生足夠多的等離子體來(lái)完成凈化。

　　綜合以上幾個(gè)方面的考慮，用介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生等離子體來(lái)完成大氣污染物的處理可行性最高，適用性最強(qiáng).