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摘要：設(shè)計并制作了一種基于溫度梯度驅(qū)動的液滴傳輸芯片，以實現(xiàn)對微液滴傳輸?shù)木_控制．介紹了驅(qū)動原理和工藝流程，分析了仿真和實驗結(jié)果．該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴，采用玻璃作為襯底，Ｔｉ為電阻加熱器，Ａｕ為電極，ＰＥＣＶＤ氧化硅為介質(zhì)層，碳氟聚合物為疏水層，實現(xiàn)了器件制作．芯片采用開放式結(jié)構(gòu)，制作工藝簡單，操作方便．測試結(jié)果表明，驅(qū)動功率為０．３８Ｗ時，去離子水和硅油的傳輸速率分別達到０．１ｍｍ燉ｓ和１ｍｍ燉ｓ．
關(guān)鍵詞：微液滴；溫度梯度；表面張力梯度；電阻加熱器；開放式結(jié)構(gòu)
關(guān)鍵詞：微液滴；溫度梯度；表面張力梯度；電阻加熱器；開放式結(jié)構(gòu)
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