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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應用>用激光探針測量半導體器件中的載流子濃度調(diào)制效應

      用激光探針測量半導體器件中的載流子濃度調(diào)制效應

      2010-11-27 | rar | 359 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      摘要：本文采用1.3UM HE-NE激光或LNGAASP/INP半導體激光作探針,實時,無損地測量硅半導體器件中的自由載流子濃度的變化,從理論上分析了器件內(nèi)自由載流子濃度變化引起的折射率改變及由此產(chǎn)生的光相位調(diào)制.
      激光探針
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