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采用真空熱蒸發(fā)法在石英玻璃基片上制備了具有特殊微柱狀結構的碘化銫閃爍薄膜。運用掃描電子顯微鏡、X射線衍射儀和熒光光譜儀分別對碘化銫薄膜的形貌、結構及發(fā)光性能等進行了表征與分析。結果表明：在基片溫度為260 ℃、沉積速率為3 nm·s-1時，所生長的碘化銫薄膜具有理想的微柱形貌、沿（110）晶面的擇優(yōu)取向和良好的透射性能；紫外光激發(fā)下，發(fā)射主峰為 438 nm，X射線激發(fā)下，發(fā)射主峰為315 nm，說明短波段發(fā)射峰需要的激發(fā)能量較高，而長波段發(fā)射峰對紫外光激發(fā)更為敏感。
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