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      半導(dǎo)體IC清洗技術(shù)

      2012-04-27 | rar | 180 KB | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      介紹了半導(dǎo)體IC制程中存在的各種污染物類型及其對IC制程的影響和各種污染物的去除方法，并對濕法和干法清洗的特點及去除效果進(jìn)行了分析比較。
      半導(dǎo)體 IC清洗
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