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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>數(shù)字信號(hào)處理論文>一種用于電容型體硅微陀螺的低噪聲讀出電路芯片

      一種用于電容型體硅微陀螺的低噪聲讀出電路芯片

      2010-02-09 | rar | 223 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      讀出電路位于微傳感器系統(tǒng)信號(hào)通路的最前端，是決定系統(tǒng)性能的關(guān)鍵因素。本文針對(duì)音叉式體硅微陀螺的具體應(yīng)用，提出了一種低噪聲電容讀出電路，芯片采用斬波技術(shù)降低了電路的低頻1/f 噪聲、失調(diào)電壓以及參考電壓失配的影響，提高了讀出電路的分辨率和動(dòng)態(tài)范圍；提出一種噪聲電荷轉(zhuǎn)移的分析方法，用于分析和預(yù)測讀出電路的噪聲性能；建立一種簡化的微陀螺傳感器仿真模型，用于模擬讀出電路對(duì)微傳感器的響應(yīng)。讀出電路在0.35μm 2P4 M 標(biāo)準(zhǔn)CMOS 工藝下設(shè)計(jì)流片，并與微傳感器進(jìn)行了聯(lián)合應(yīng)用，芯片面積為2×2.5 mm2，在5 V 電源電壓，100 kHz 的時(shí)鐘頻率下，實(shí)現(xiàn)了4 aF/ Hz的電容分辨率和94 dB 的動(dòng)態(tài)范圍。
      電容型 微陀螺
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