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      微納機(jī)電系統(tǒng)

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 和納機(jī)電系統(tǒng)(NEMS) 是微米/ 納米技術(shù)的重要組成部分。MEMS
      已在產(chǎn)業(yè)化道路上發(fā)展,NEMS 還處于基礎(chǔ)研究階段。分析了微/ 納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),簡要地介紹了典型的MEMS 和NEMS 器件及系統(tǒng)后,橢論了MEMS 和NEMS 發(fā)展中的幾個問蹄以及它們的發(fā)展前景。
      微納機(jī)電
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