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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>八梁硅微加速度傳感器橫向靈敏度的研究

      八梁硅微加速度傳感器橫向靈敏度的研究

      2009-11-26 | rar | 223 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      一般的壓阻式硅微加速度傳感器結(jié)構(gòu)多采用懸臂梁加質(zhì)量塊的形式, 這種結(jié)構(gòu)的
      傳感器有很高的靈敏度, 但它會產(chǎn)生很高的橫向效應(yīng)。文中介紹一種八梁結(jié)構(gòu)的三軸加速度傳感器, 通過用ANSYS有限元分析軟件仿真計(jì)算, 說明該結(jié)構(gòu)的加速度傳感器具有很小的橫向效應(yīng)。
      傳感器 靈敏度
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