資料介紹
基于視頻共焦顯微鏡光刻對準系統(tǒng)設(shè)計研究
王魯賓,周金運,宋超
(廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院,廣東 廣州 510006)
摘要:針對目前研究的激光投影光刻機的對準需要,設(shè)計了一套基于視頻圖像對準原理的激光投影光刻對準系統(tǒng)。詳細分析了共焦顯微鏡和CCD 相關(guān)雙采樣圖像處理關(guān)鍵技術(shù)在本系統(tǒng)中的應(yīng)用,結(jié)果表明CCD 圖像的質(zhì)量明顯提高,從而提高了視頻圖像對準系統(tǒng)的精度,完全滿足系統(tǒng)分辨精度2.5um 的
要求。
關(guān)鍵詞:視頻圖像;對準系統(tǒng);共焦顯微鏡;相關(guān)雙采樣
王魯賓,周金運,宋超
(廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院,廣東 廣州 510006)
摘要:針對目前研究的激光投影光刻機的對準需要,設(shè)計了一套基于視頻圖像對準原理的激光投影光刻對準系統(tǒng)。詳細分析了共焦顯微鏡和CCD 相關(guān)雙采樣圖像處理關(guān)鍵技術(shù)在本系統(tǒng)中的應(yīng)用,結(jié)果表明CCD 圖像的質(zhì)量明顯提高,從而提高了視頻圖像對準系統(tǒng)的精度,完全滿足系統(tǒng)分辨精度2.5um 的
要求。
關(guān)鍵詞:視頻圖像;對準系統(tǒng);共焦顯微鏡;相關(guān)雙采樣
微鏡
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