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基于運動控制技術的非球面測量系統(tǒng):為滿足非球面光學元件表面精度的測量要求,設計和實現(xiàn)了一種高效數(shù)控非球面測量系統(tǒng). 系統(tǒng)基于運動控制技術,構建了四軸聯(lián)動的測量工作平臺. 根據(jù)數(shù)據(jù)采集原理,實現(xiàn)對非球面工件表面形位參數(shù)進行連續(xù)采樣. 整個系統(tǒng)采用工控微機作為上位機非實時控制,下位機采用高速DSP 進行實時控制. 在Windows 操作系統(tǒng)下,用Visaul C + + 開發(fā)工具完成了測量系統(tǒng)的軟件開發(fā). 最后通過實驗對測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性及其誤差進行了分析. 實驗結果表明,系統(tǒng)行程為100～120 mm ,系統(tǒng)誤差小于5μm ,能滿足普通光學非球面元件測量精度的要求,同時系統(tǒng)體現(xiàn)了較好的通用性和可靠性.
關鍵詞: 運動控制;非球面;測量系統(tǒng);開放式數(shù)控
關鍵詞: 運動控制;非球面;測量系統(tǒng);開放式數(shù)控
控制技術
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