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陽極鍵合技術廣泛應用于MEMS器件的制備過程中

1969年，美國的Wallis和Pomerantz兩位研究人員首次提出了陽極鍵合技術，其鍵合方法如圖1所示。陽極鍵合目前在硅片與玻璃鍵合中得到了較為廣泛...

2020-06-17 標簽：壓力傳感器微機電系統(tǒng)MEMS器件 1.5萬 0

MEMS器件的四大分類介紹

MEMS器件以硅為主要材料。硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當。密度類似于鋁，熱傳導率接近銅和鎢，因此MEMS器件機械電氣性能優(yōu)良。它集中了當今科學技術發(fā)...

2019-02-12 標簽：mems器件 1.4萬 0

PZT壓電薄膜MEMS器件聯(lián)合實驗室落戶蘇州

該壓電MEMS實驗室將有利于壯大蘇州MEMS產業(yè)實力，也有利于加快中國MEMS企業(yè)創(chuàng)新步伐。

2019-06-10 標簽：芯片 MEMS器件愛發(fā)科 6.8k 0

MEMS器件類型和MEMS應用

微機電系統(tǒng)（MEMS）技術使用半導體制造工藝來生產尺寸范圍從小于一微米到幾毫米的小型化機械和機電元件。MEMS設備可以從沒有運動元件的相對簡單的結構到具...

2020-07-22 標簽：mems MEMS器件 6.6k 0

MEMS技術制作的新一代硅腔濾波器芯片

公司擁有國際先進水平的6英寸MEMS工藝線和世界領先的產品測試標定設備，是國家高新技術企業(yè)、科技部重大科學儀器專項資助單位。

2020-06-25 標簽：傳感器 MEMS器件濾波器芯片 6.1k 0

利用激光測振技術提升MEMS器件仿真精度

設計和開發(fā)MEMS器件涉及大量的數(shù)學仿真。在制造過程中進行實驗驗證，不僅成本昂貴且非常耗時。為了精準地預測系統(tǒng)響應，需要驗證仿真模型。但是，當需要用模型...

2019-11-30 標簽：MEMS器件光刻技術激光成像 4.2k 0

IMT宣布提供8英寸晶圓MEMS加工服務

IMT日前正式宣布：公司現(xiàn)已可提供8英寸（200mm）晶圓微電子機械系統(tǒng)（MEMS）工藝加工服務，同時公司還可以為MEMS行業(yè)發(fā)展提供空前豐富的其他資源...

2019-06-13 標簽：半導體 MEMS器件 8英寸晶圓 4.2k 0

計算機視覺方向簡介之視覺慣性里程計

VIO-SLAM Visual-Inertial Odometry（VIO）即視覺慣性里程計，有時也叫視覺慣性系統(tǒng)（VINS，visual-inerti...

2021-04-07 標簽：傳感器噪聲 MEMS器件 4.2k 0

具有懸浮結構的MEMS器件表面微加工方法

近年來，微機電（MEMS）開關因其高線性度、低插損、低能耗、高開關比以及可集成性等優(yōu)異性能獲得了廣泛關注。MEMS開關可以被應用于自動化測試設備、寬帶儀...

2020-08-11 標簽：mems MEMS器件 3.9k 0

漢威科技布局MEMS代工廠，收購納杰微51%股份

近期，國內氣體傳感器龍頭廠商漢威科技收購嘉興市納杰微電子技術有限公司（簡稱：納杰微）51%股份，

2024-04-07 標簽：陀螺儀壓力傳感器加速度計 3.3k 0

行業(yè)迎來MEMS器件熱細數(shù)ADI近年MEMS新品發(fā)布

近年來，隨著消費電子領域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進入了人們的視線。面對當前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網在這里先為大家整理了ADI近年來發(fā)布的MEM...

2012-12-12 標簽：ADI MEMS MEMS器件 3.1k 0

玻璃氣密封裝技術：MEMS器件的理想解決方案之一

通過將微型機械和電子組件集成于單個襯底，微機電系統(tǒng)（MEMS）改變了眾多行業(yè)，促進了高靈敏度和高效能器件的構建。

2024-02-21 標簽：晶圓微機電系統(tǒng)MEMS器件 3k 0

泛林集團宣布推出全球首款面向量產的脈沖激光沉積（PLD）機臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，泛林集團（Lam Research，納斯達克股票代碼：LRCX）近日宣布推出全球首款面向量產的脈沖激光沉積（PLD）機臺，以賦能基于M...

2024-04-07 標簽：信噪比 MEMS器件脈沖激光 3k 0

MEMS器件的低成本微慣性導航系統(tǒng)設計

設計了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度計的低成本微慣性導航系統(tǒng)。采用“四元數(shù)”法進行姿態(tài)計算，通過比力變換、積分

2010-12-29 標簽：MEMS器件導航系 2.9k 0

MEMS器件發(fā)展勢不可擋:未來MEMS市場將持續(xù)增長

隨著便攜消費電子的走熱，MEMS器件得到了爆發(fā)式的增長。短短兩年時間MEMS器件成為消費電子領域炙手可熱的器件，近幾年都會保持高速增長趨勢。現(xiàn)在讓我們一...

2013-01-23 標簽：MEMS器件 MEMS麥克風 MEMS磁力計 2.8k 0

宙訊微電子正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺

據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，南京宙訊微電子科技有限公司（以下簡稱“宙訊微電子”）正式對外發(fā)布壓電MEMS代工平臺，平臺專注于壓電MEMS領域新器件的研發(fā)和量產服務。

2024-03-01 標簽：半導體 SAW MEMS器件 2.4k 0

碳化硅基MEMS器件助力高性能氣體檢測應用

MEMS器件廣泛應用于機械、光學、射頻、生物等領域，氣體檢測正是其重要應用方向之一。

2024-01-23 標簽：接收器氣體傳感器 MEMS器件 2.3k 0

宙訊科技憑借射頻MEMS器件榮獲天津大學“海棠杯”校友創(chuàng)新一等獎

創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)，天大擔當。9月30日，第五屆天津大學“海棠杯”校友創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國總決賽圓滿落幕，200余人于天津大學（衛(wèi)津路校區(qū)）大學生活動中心共襄盛典，共慶雙節(jié)。

2023-10-09 標簽：濾波器 MEMS器件 2k 0

MEMS器件是封測廠商發(fā)展的助跑器傳感器產業(yè)面臨兩大主要挑戰(zhàn)

據(jù)市場數(shù)據(jù)統(tǒng)計未來五年OSAT市場將持續(xù)保持增長，這主要是受益于MEMS巨大的出貨量，MEMS器件有望成為OSAT廠商的下一個增長點，同時傳感器產業(yè)都將...

2018-01-29 標簽：傳感器 mems器件封測廠 2k 0

我們還離得開MEMS嗎？

　　電子發(fā)燒友網訊【編譯/Triquinne】： MEMS器件無處不在。他們幾乎已經滲透到我們生活的每一個方面，永遠地改變了我們和數(shù)字環(huán)境的交互關系。不...

2012-11-29 標簽：MEMS MEMS加速度計 MEMS器件 1.9k 1

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