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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱為芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個(gè)大型實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 4.6k 0
SMI推出的MEMS低壓傳感器系列產(chǎn)品SM9541介紹
基于該芯片的特有的復(fù)合壓力儀表產(chǎn)品可提供最佳的信號分辨率和診斷功能。14位分辨率和1%精度為用戶帶來高性能,每年0.2%的滿量程漂移穩(wěn)定性可為重要的保健...
增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/虛擬現(xiàn)實(shí) (AR/VR) 系統(tǒng)正在各個(gè)領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用,例如在娛樂、教育、醫(yī)療保健和其他工業(yè)應(yīng)用中。借助這些技術(shù),用戶能夠在虛擬空間中模...
2020-07-10 標(biāo)簽:mems光學(xué)傳感器超聲波傳感器 4.6k 0
利用Tanner EDA工具進(jìn)行MEMS設(shè)計(jì)和仿真學(xué)習(xí)
高速的光網(wǎng)絡(luò)使世界各地的人們得以即時(shí)交流和分享想法。微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機(jī)械、光學(xué)和電氣三個(gè)領(lǐng)域,...
思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上取得突破,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1.5%
日前,上海思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上歷時(shí)兩年的潛心研發(fā),取得了突破性進(jìn)展。其自主研發(fā)的超聲換能器已通過系列性能測試,在10MHz頻點(diǎn)轉(zhuǎn)換效率可達(dá)1....
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應(yīng)用前景
近年來,受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時(shí),性能、功能和靈敏度也得到增強(qiáng);加上低成本、個(gè)性化醫(yī)療應(yīng)用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的應(yīng)用...
MEMS_慣性傳感器16-磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計(jì)測量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實(shí)磁場的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來擬合磁力計(jì)的測量結(jié)果,然后通過最小二乘法來找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
基于GPS/MEMS組合芯片實(shí)現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)橄M(fèi)者日常使用的一種技術(shù)。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設(shè)備中普及GPS...
MEMS熱式質(zhì)量流量傳感器的原理和應(yīng)用
熱式質(zhì)量流量傳感器是利用氣體流經(jīng)加熱元器件時(shí),從加熱元器件表面帶走部分熱量,根據(jù)氣體流量與換熱量之間的關(guān)系進(jìn)行測量。利用此傳感器做成的流量計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單...
振動(dòng)校正誤差(VRE)是加速度計(jì)對交流振動(dòng)的響應(yīng),這些振動(dòng)被糾正為直流,表現(xiàn)為加速度計(jì)偏移的異常偏移。在傾角計(jì)等應(yīng)用中,這是一個(gè)重要的誤差源,其中加速度...
STMicroelectronics 深入研究了用于工業(yè)環(huán)境狀態(tài)監(jiān)測的振動(dòng)傳感器的 KPI。
2022-08-17 標(biāo)簽:mems智能傳感器振動(dòng)傳感器 4.4k 0
MEMS IC和傳統(tǒng)IC的無縫互連集成技術(shù)
MEMS 芯片的集成通常是指電子和機(jī)械功能的集成。那么這種工藝的最終目標(biāo)是什么呢?答案是:將MEMS 結(jié)構(gòu)無縫集成到與之相連的同一CMOS 芯片上。 ...
應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)計(jì)項(xiàng)目的傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)介紹
醫(yī)學(xué)不推進(jìn)技術(shù),技術(shù)進(jìn)步醫(yī)學(xué)。對于攔截和預(yù)防性醫(yī)療技術(shù)的診斷,維護(hù)和監(jiān)測尤其如此。特別是傳感器技術(shù),基于小型化的改進(jìn) - 特別是在MEMS領(lǐng)域 - 處于...
利用冗余節(jié)點(diǎn)最佳移動(dòng)路徑算法解決節(jié)點(diǎn)移動(dòng)的節(jié)能路由問題
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強(qiáng)度、壓力、土壤成分、移動(dòng)物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
國內(nèi)暖通制冷領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者盾安
在生產(chǎn)和應(yīng)用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點(diǎn)也表現(xiàn)地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產(chǎn)工藝相對復(fù)雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術(shù)中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標(biāo)簽:mems 4.4k 0
基于MEMS的汽車激光微型投影機(jī)的優(yōu)化設(shè)計(jì)
用于汽車的現(xiàn)代平視顯示器 (HUD) 使用三重激光二極管微型投影儀解決方案,可實(shí)現(xiàn)無限聚焦、陽光下的可讀性、出色的色彩和小尺寸。汽車三重半導(dǎo)體激光二極管...
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計(jì)中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計(jì)中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
動(dòng)作捕捉系統(tǒng)的一般性結(jié)構(gòu)主要分為三個(gè)部分:數(shù)據(jù)采集設(shè)備、數(shù)據(jù)傳輸設(shè)備、數(shù)據(jù)處理單元,慣性式動(dòng)作捕捉系統(tǒng)即是將慣性傳感器應(yīng)用到數(shù)據(jù)采集端,數(shù)據(jù)處理單元通過...
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