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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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預(yù)測(cè)和管理MEMS陀螺儀中的關(guān)鍵噪聲源
當(dāng)MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)在運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中作為反饋傳感器運(yùn)行時(shí),陀螺儀噪聲是一種需要了解的重要行為,因?yàn)樗赡軐?dǎo)致其所監(jiān)控的平臺(tái)上出現(xiàn)不良的物理運(yùn)...
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時(shí)間傳感器的詳細(xì)資料說(shuō)明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測(cè)量、位置追蹤、人員...
MEMS加速度計(jì)的抗沖擊能力與耐振動(dòng)性之間的關(guān)鍵差異
MEMS加速度計(jì)在機(jī)械應(yīng)力頻繁且劇烈的環(huán)境中應(yīng)用日益廣泛。本文探討了抗沖擊能力與耐振動(dòng)性之間的關(guān)鍵差異,這兩項(xiàng)核心指標(biāo)決定了傳感器在惡劣條件下的可靠性。...
物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代,那些當(dāng)紅的傳感器
據(jù)中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測(cè),未來(lái)五年國(guó)內(nèi)傳感器市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)31%。汽車(chē)、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標(biāo)簽卡領(lǐng)域的傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)較快...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,它開(kāi)辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價(jià)值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡(jiǎn)化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開(kāi)發(fā)并...
拆解Xiaomi小米運(yùn)動(dòng)對(duì)講機(jī) 內(nèi)置兩顆敏芯股份的MEMS麥克風(fēng)組成拾音陣列
對(duì)講機(jī)作為一種即時(shí)的無(wú)線(xiàn)通訊設(shè)備,擁有著不受信號(hào)影響、更便捷的集群通訊、更持久的續(xù)航等優(yōu)勢(shì),能夠幫助用戶(hù)進(jìn)行團(tuán)隊(duì)成員之間的快速、便捷溝通。近日,小米推出...
2025-02-25 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)陣列拆解 3.7k 0
血壓計(jì)用MEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制造
MEMS壓力傳感器是傳感器行業(yè)中市場(chǎng)規(guī)模最大的細(xì)分市場(chǎng)之一,具有體積小、功耗低、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)。隨著時(shí)代的發(fā)展及人們對(duì)健康的重視度提高,血壓儀開(kāi)始走進(jìn)用...
常規(guī)的絕緣層上硅 (Silicon on Insulator, SOI)是通過(guò)注氧隔離 (Separation by Implanted Oxygen,...
基于MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)傾角測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
基于MEMS加速度計(jì)的傾角測(cè)量模塊具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)有加速度干擾下的傾角測(cè)量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來(lái)源...
2020-08-05 標(biāo)簽:mems電機(jī)測(cè)量系統(tǒng) 3.7k 0
采用MEMS傾角傳感器實(shí)現(xiàn)傾角測(cè)量系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)
在地質(zhì)石油勘探、設(shè)備安裝、道路橋梁建設(shè)等工程應(yīng)用以及機(jī)器人控制、坦克和艦船火炮平臺(tái)控制、飛機(jī)姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動(dòng) 水平調(diào)節(jié)中,都需要高精度的傾角測(cè)量。但...
2020-08-22 標(biāo)簽:傳感器mems測(cè)量系統(tǒng) 3.6k 0
MEMS慣性測(cè)量單元SCHA634產(chǎn)品概述
根據(jù)上述4顆MEMS芯片(3種類(lèi)型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計(jì))的結(jié)構(gòu)剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結(jié)構(gòu)示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
應(yīng)用于工業(yè)消費(fèi)市場(chǎng)的低功耗MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術(shù)互動(dòng)的方式,使其更容易,更便于用戶(hù)使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線(xiàn)性加速度計(jì)以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
基于Mems的應(yīng)用不斷擴(kuò)大,主要原因是Mems傳感器的成本下降,這也得益于8英寸硅片生產(chǎn)的轉(zhuǎn)變。
小白必看!MEMS時(shí)鐘振蕩器在射頻系統(tǒng)中的經(jīng)典應(yīng)用方案
結(jié)合了MEMS和高分辨率鎖相環(huán)電路的DCXO,能支持最小量化噪聲設(shè)計(jì)的高速數(shù)字鎖相環(huán)路和不受頻率牽引范圍影響的相位噪聲,適合于應(yīng)用到各種射頻和通信系統(tǒng)中。
目前MEMS傳感器在消費(fèi)類(lèi)電子產(chǎn)品中得到廣泛應(yīng)用,但是MEMS角速率陀螺儀存在嚴(yán)重的零點(diǎn)漂移和隨機(jī)誤差,在捷聯(lián)慣性導(dǎo)航解算中會(huì)產(chǎn)生積分誤差,難以達(dá)到應(yīng)用的精度。
在空間飛行器的慣性測(cè)量系統(tǒng),機(jī)器人的機(jī)械臂延展確定,車(chē)船體傾斜測(cè)量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測(cè)等許多方面都需要測(cè)量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
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