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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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原子層沉積(ALD)工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項(xiàng)新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),用于在晶圓級上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過原子層沉積(ALD)...
微/納機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展特點(diǎn)及前景
本文分析了微/納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個(gè)問題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3.5k 0
每個(gè) MEMS 壓力傳感器的核心都是 MEMS 硅芯片。 Merit Sensor 擁有并經(jīng)營一家晶圓廠,在那里生產(chǎn)所有自己的產(chǎn)品 微機(jī)電芯片. 封裝 ...
MEMS芯片質(zhì)量影響因素總結(jié) MEMS芯片制程技術(shù)類型
中科融合是一家國際領(lǐng)先的先進(jìn)光學(xué)智能傳感器芯片企業(yè),是國內(nèi)唯一擁有自主研發(fā)“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產(chǎn)...
幾乎所有的電子設(shè)備都需要頻率控制,而傳統(tǒng)的石英晶體諧振器主導(dǎo)應(yīng)用市場幾十年,由于市場規(guī)模巨大,石英晶體的制造已經(jīng)達(dá)到精湛水準(zhǔn)——不乏更小、更薄、頻率更高...
WSN(無線感測網(wǎng)路)近幾年來陸續(xù)應(yīng)用在各種領(lǐng)域,如軍事國防、科學(xué)領(lǐng)域、環(huán)境監(jiān)測、交通運(yùn)輸、航太飛行等等。透過布建多個(gè)感測節(jié)點(diǎn),將感測與搜集到資料,透過...
MEMS全稱MicroElectroMechanicalSystems,即微電子機(jī)械系統(tǒng),其組成包括微型傳感器、微型執(zhí)行器、微型架構(gòu)及相應(yīng)的微型處理電路...
心音聽診是進(jìn)行疾病診斷的一種重要手段,在這篇文章中我們討論了一種應(yīng)用無線傳輸技術(shù)設(shè)計(jì)的電子聽診 器,該電子聽診器是基于嵌入式處理器的。數(shù)據(jù)可以通過Zig...
2014-10-08 標(biāo)簽:MEMS運(yùn)算放大器LM386 3.5k 0
基于SIP技術(shù)的車用壓力傳感器的工作原理及應(yīng)用研究
經(jīng)過幾十年的研究與開發(fā),MEMS器件與系統(tǒng)的設(shè)計(jì)制造工藝逐步成熟,但產(chǎn)業(yè)化、市場化的MEMS器件的種類并不多,還有許多MEMS仍未能大量走出實(shí)驗(yàn)室,充分...
醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備的主要器件:MEMS傳感器
隨著可穿戴智能設(shè)備的發(fā)展,特別是醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備,主要依靠MEMS傳感器,從而檢測到穿戴者的身體各項(xiàng)信息。那么什么是MEMS傳感器呢?
2014-01-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 3.5k 1
MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域,從而進(jìn)行...
MEMS硅晶振采用硅為原材料,采用先進(jìn)的半導(dǎo)體工藝制造而成。因此在高性能與低成本方面,有明顯于石英的優(yōu)勢。
對MEMS振蕩器的已超過四十個(gè)年頭,然而最近才走向商用化,其中最大的一個(gè)障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟(jì)并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。MEMS振蕩器必須密封于非常潔凈的環(huán)...
MEMS陀螺儀在惡劣高溫環(huán)境下提供準(zhǔn)確的慣性檢測
ADI公司新開發(fā)了一款集成信號調(diào)理功能的高溫MEMS陀螺儀,即ADXRS645。此傳感器即使在沖擊和振動(dòng)環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的角速率(轉(zhuǎn)速)測量,且額定工...
ST推出STA321MP系列音頻IC產(chǎn)品,可直接連接最新的微型麥克風(fēng)
STA321MP是意法半導(dǎo)體SoundTerminal系列音頻IC的最新產(chǎn)品,內(nèi)置MEMS數(shù)字麥克風(fēng)和標(biāo)準(zhǔn)麥克風(fēng)輸入接口。微型尺寸與抗液晶顯示器和功率器...
之前調(diào)試基于QMI8658 6軸姿態(tài)解算的時(shí)候,我對Mahony濾波的認(rèn)識還比較淺薄。初次的學(xué)習(xí)和代碼的移植讓我對四元數(shù)、歐拉角、旋轉(zhuǎn)余弦矩陣有了一定的...
MEMS傳感器是當(dāng)今最炙手可熱的傳感器制造技術(shù),也是傳感器小型化、智能化的重要推動(dòng)了,MEMS技術(shù)促進(jìn)了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術(shù),...
紐迪瑞發(fā)布MEMS數(shù)字氣壓傳感器,解決高精度壓力測量難題
具體而言,傳感器通過檢測手機(jī)當(dāng)前位置的大氣壓力,利用大氣壓與海拔高度的換算關(guān)系,將壓力轉(zhuǎn)化為海拔高度,即可實(shí)現(xiàn)GPS輔助定位,為用戶提供精準(zhǔn)的海拔信息。...
提升用戶體驗(yàn)的關(guān)鍵——穿戴傳感器【技術(shù)周刊】
以Apple Watch和Fitbit代表的智能可穿戴市場在2016年繼續(xù)保持增長,不過續(xù)航時(shí)間短、檢測數(shù)據(jù)不夠準(zhǔn)確、與智能手機(jī)功能重疊等因素都導(dǎo)致了可...
2017-01-13 標(biāo)簽:mems心率監(jiān)測六軸傳感器 3.4k 0
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