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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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石墨烯NEMS/MEMS傳感器結(jié)合硅技術(shù)將實現(xiàn)新的智能系統(tǒng),增強人類的福祉、食品安全、交通安全、污染監(jiān)控以及國土安全。這項研究作為NanoGraM項目的...
一說到扭矩傳感器,可能很多人一下子覺得頭腦空白,光是提及這個扭矩傳感器這個代名詞,我也覺得很空洞,對它沒任何概念。那我再給大家多一點提示吧,扭矩傳感器一...
視覺SLAM技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用盤點
當(dāng)我們談?wù)揝LAM時,最先問到的就是傳感器。SLAM的實現(xiàn)方式與難度和傳感器的形式與安裝方式密切相關(guān)。傳感器分為激光和視覺兩大類,視覺下面又分三小方向。
RFID傳感器標(biāo)簽在血液質(zhì)控管理中的應(yīng)用說明
傳感技術(shù)是感知、獲取與檢測信息的窗口,它能夠?qū)崿F(xiàn)數(shù)據(jù)的采集量化、處理融合和傳輸應(yīng)用。通過傳感器對血液環(huán)境溫度、密封狀況和振蕩程度等的實時監(jiān)測和采集,再通...
智能傳感器是具有信息處理功能的傳感器。智能傳感器帶有微處理機,具有采集、處理、交換信息的能力,是傳感器集成化與微處理機相結(jié)合的產(chǎn)物。
一般來說,要想對咖啡機中加入原料的狀態(tài)進行檢測,需要采用霍爾傳感器。其原理如上圖所示,咖啡機中原料重量的變化,會引起連帶磁體位置的變化,導(dǎo)致其遠離或者靠...
MEMS氣壓傳感器在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用分析
氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯(lián)網(wǎng)(IoT)中有非常廣泛的應(yīng)用,從氣象監(jiān)測到室內(nèi)資產(chǎn)跟蹤。
2020-12-26 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣體傳感 1.5k 0
如果從事自動化控制工作的儀表人不清楚無源信號、有源信號、無源接點(干接點)、有源接點(濕接點),必然會很頭大。本文是介紹這些知識點的干貨文章,希望對大家...
具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測,該類傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)...
壓電MEMS超聲波換能器設(shè)計—從概念驗證到產(chǎn)品
本文為OnScale與Mentor合作推出,由行業(yè)專家撰寫,文章詳細介紹了壓電MEMS超聲波換能器產(chǎn)品的設(shè)計過程,包括傳感器的仿真、設(shè)計以及它與整個系統(tǒng)的集成。
由于磁性傳感技術(shù)不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響,因此磁傳感器在工業(yè)設(shè)備和電子儀器中有著廣泛的應(yīng)用,如磁共振成像、生產(chǎn)的自動控制、流程工業(yè)、...
MEMS技術(shù)被廣泛應(yīng)用于光纖通信系統(tǒng)中,MEMS技術(shù)與光學(xué)技術(shù)的結(jié)合,通常稱作MOEMS技術(shù)。最為常用的MOEMS器件包括光衰減器VOA、光開關(guān)OS、可...
MEMS光學(xué)器件—MEMS OXC(光交叉互連開關(guān))
光交叉互連開關(guān)(OXC)是一種N×N端口的矩陣光開關(guān),可用于構(gòu)建CDC ROADM(無色、無方向性、無競爭的可重構(gòu)光上/下路復(fù)用器)。
MEMS全稱Micro Electromechanical System(微機電系統(tǒng)),是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機電系統(tǒng),微機械結(jié)構(gòu)的制備...
ROADM(Reconfigurable Optical Add-Drop Multiplexer)是可重構(gòu)光分插復(fù)用器,一種使用在密集波分復(fù)用(DWD...
光纖通信系統(tǒng)中,光開關(guān)(Optical Switch,OS)主要用于光路中實現(xiàn)光信號的物理切換或其他邏輯操作,多用于光交叉連接OXC(Optical C...
固態(tài)激光雷達工作原理解析,它的優(yōu)缺點是什么
激光雷達被認為是各行各業(yè)的關(guān)鍵傳感技術(shù),在機器人、無人駕駛、智慧城市等領(lǐng)域充當(dāng)著推動者的角色。而近年來一直被寄予厚望的固態(tài)激光雷達成為業(yè)內(nèi)關(guān)注的熱點。何...
2020-12-24 標(biāo)簽:嵌入式mems固態(tài)激光雷達 5.1k 0
8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項目簽約暨啟動儀式
蚌埠市與中國兵器工業(yè)集團214所共同建設(shè)的8英寸MEMS制造與微系統(tǒng)集成工程建設(shè)項目建設(shè)周期為2年,總投資10億元,建設(shè)目標(biāo)是打造國內(nèi)領(lǐng)先的8英寸MEM...
流量測量是研究物質(zhì)量變的科學(xué),質(zhì)量互變規(guī)律是事物聯(lián)系發(fā)展的基本規(guī)律。因此,其測量對象已不限于傳統(tǒng)意義上的管道液體,凡需掌握量變的地方都有流量測量的問題。...
會議邀請多位專家作了學(xué)術(shù)報告,中國電子科技集團公司首席專家方針研究員回顧了振動陀螺發(fā)展起源、歷程、展望了未來,國防科技大學(xué)肖定邦教授介紹了微納諧振傳感器...
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