電源及系統(tǒng)啟動方式

　　1、打開設(shè)備卷簾蓋。

　　2、打開接線板開關(guān)，打開藍(lán)色穩(wěn)壓開關(guān)。注意：必須待穩(wěn)壓電源指示燈由紅色變?yōu)榫G色？電壓穩(wěn)定后才可進(jìn)行后續(xù)操作，如電壓不穩(wěn)定就開始操作，很可能損壞設(shè)備。

　　3、按下圓形綠色ON開關(guān)，打開系統(tǒng)總電源。

　　4、打開機臺右下方的黑色有機玻璃蓋子，按下白色圓形按鈕啟動電腦主機。

　　5、按下橙色開關(guān)power。

　　6、打開顯示器開關(guān)，啟動PG-2000軟件和PClink軟件。

　　7、打開顯微鏡左側(cè)紅色開關(guān)。

　　樣品檢測操作

　　1.按下綠色按鈕start，載物盤移出，按下VAC抽真空鍵，真空泵工作。放入芯片，輕觸芯片看是否吸附牢固，確定樣品放置平整，如不平整則會影響檢測結(jié)果并損壞探針。

　　2.芯片放置完畢后再次按下綠色Start鍵，載物盤歸位。

　　3.選取標(biāo)準(zhǔn)芯片，進(jìn)行影像學(xué)習(xí)，設(shè)定60%的相似度，可以根據(jù)需要自行設(shè)定然后點擊搜索。

　　4.取任意最近一點，點擊產(chǎn)品設(shè)定，選擇自動更新，系統(tǒng)自動顯示出行數(shù)、列數(shù)以及晶粒間距，點擊產(chǎn)品設(shè)定、存儲、名稱、點擊設(shè)定名稱，自行輸入名稱后點擊離開。

　　5.點擊晶圓水平，進(jìn)行影像的水平調(diào)節(jié)。

　　6.點擊影像掃描，系統(tǒng)自動掃描選取樣品。

　　7.進(jìn)行接觸檢測，按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮？亮則說明接觸良好，否則為接觸不良。若接觸不良則需要按下A/Light鍵，打開環(huán)形照明燈，從顯微鏡的目鏡中觀察樣品以及針頭位置，調(diào)節(jié)探針臺的XYZ軸旋鈕，使針頭能正確接觸芯片的電極，直到ES1和ES2指示燈點亮。再次按下UP/DW鍵，完成接觸檢測。

　　8.打開PClink測試連線軟件，用戶名和密碼都是1。進(jìn)行參數(shù)設(shè)定，并對檔案進(jìn)行命名，點擊開始寫檔。

　　9.回到PG2000系統(tǒng)，點擊開始測試。按下綠色Start鍵，設(shè)備開始進(jìn)行檢測。檢測完成后，按下紅色Abort鍵結(jié)束檢測。如果在檢測過程中需要暫停，則按下黃色Pause鍵，暫停結(jié)束后若仍需繼續(xù)檢測，則按下綠色Start鍵，系統(tǒng)繼續(xù)對樣品進(jìn)行檢測。若暫停后要結(jié)束檢測，則按下紅色Abort鍵？系統(tǒng)自動終止檢測。

　　10.正常檢測完畢，按下紅色Abort鍵，結(jié)束檢測。

　　檢測完成系統(tǒng)關(guān)閉過程

　　1、所有檢測完成后，若需關(guān)閉系統(tǒng)，則首先要關(guān)閉PG2000軟件和PClink軟件，再正常關(guān)閉計算機。

　　2、接著關(guān)閉顯微鏡左側(cè)紅色開關(guān)。

　　3、然后關(guān)閉橙色POWER開關(guān)。

　　4、確定系統(tǒng)中所有開關(guān)均已關(guān)閉后，最后按下紅色OFF鍵關(guān)閉系統(tǒng)總電源。

　　5、關(guān)閉系統(tǒng)過程中，必須按照以上步驟操作，否則極易造成設(shè)備損壞。

　　6、待系統(tǒng)關(guān)閉后，關(guān)閉穩(wěn)壓電源藍(lán)色開關(guān)，關(guān)閉接線板開關(guān)。拉下卷簾蓋？檢查無誤后，方可離開。故障備注：設(shè)備尚存在一些故障問題，顯微鏡右眼的目鏡是壞的？無法，到樣品，僅能從左眼目鏡進(jìn)行觀察。

　　7.進(jìn)行接觸檢測時，正常情況下按下UP/DW鍵觀察ES1和ES2指示燈是否亮。點亮則說明接觸良好？否則為接觸不良，而即使接觸良好？ES1和ES2燈也不亮。對針的時候無法直觀判斷接觸情況，操作難度很大，需要檢修。馬老師說過段時間會有工程師來維修和詳細(xì)培訓(xùn)，維修培訓(xùn)過后我會對操作手冊進(jìn)行進(jìn)一步的完善和修改。