精準(zhǔn)測(cè)量高范圍電阻的方法

許多測(cè)試應(yīng)用要求測(cè)量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測(cè)量方法是對(duì)樣本施加足夠高的電壓，測(cè)量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律（R=V/I）計(jì)算其電阻。由于高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測(cè)量，即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流也使得進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量較為困難，吉時(shí)利 6517B 型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題，并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測(cè)量。

靜電計(jì)用于精準(zhǔn)測(cè)量高范圍電阻

靜電計(jì)是一種高度精密的直流多用測(cè)量?jī)x表，不僅可以完成一般直流數(shù)字多用表的測(cè)量功能，憑借特殊的輸入特性和高靈敏度，靜電計(jì)也可勝任常規(guī)多用表力所不能及的電壓，電流，電阻和電荷測(cè)量。它可以同時(shí)測(cè)量非常微弱的電流和高阻抗電壓。使用靜電計(jì)還可以進(jìn)行電容漏電流測(cè)量和絕緣電阻測(cè)量。靜電計(jì)具備 10fc 的電荷測(cè)量分辨率，100aA 的電流分辨率，以及高達(dá) 200TΩ 的阻抗測(cè)量能力，超越了標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字萬用表。也可用于需要極端靈敏度或者需要多種類型的靈敏電子線路測(cè)量的場(chǎng)合。

其應(yīng)用場(chǎng)景多為：表征高兆歐級(jí)電阻、確定絕緣體的電阻率和測(cè)量印刷電路板的絕緣電阻。

Keithley 6500 系列靜電計(jì)

吉時(shí)利5 位半 6517B 靜電計(jì)/高阻表提供的精度和靈敏度指標(biāo)高于其他同類型儀表。它還具有完備的功能，使測(cè)量高阻和絕緣材料電阻率變得簡(jiǎn)單。6517B 具有425 讀數(shù)/秒的測(cè)試速率，比同類型的靜電計(jì)快很多，可以提供快速、簡(jiǎn)易的弱電流測(cè)量能力測(cè)量弱電流。

半機(jī)架型 6517B 靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流《3fA，噪聲僅0.75fA p-p （峰-峰） ，輸入端壓降《20μV。對(duì)于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測(cè)量的輸入阻抗是 200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測(cè)量所需的準(zhǔn)確度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡(jiǎn)化漏流測(cè)試、擊穿電壓測(cè)試和電阻測(cè)試，以及絕緣材料的體電阻率（Ω-cm） 及表面電阻率（Ω/square） 的測(cè)量。

6517B 靜電計(jì)/高阻表

（1）電阻測(cè)量可達(dá) 10E16Ω

（2）電流測(cè)量范圍 1fA - 20mA

（3）最小電流量程輸入端壓降《20μV

（4）200TΩ 輸入阻抗

（5）《3fA 偏置電流

（6）測(cè)試速率高達(dá) 425 rdgs/s

（7）噪聲0.75fA p-p

（8）內(nèi)置±1kV電壓源

（9）獨(dú)特的高電阻測(cè)量電壓反接方法

（10）可選的插件式掃描卡

精準(zhǔn)測(cè)量微弱電流的方法

皮安表用于精準(zhǔn)測(cè)量微弱電流

在較高的電流水平上，普通數(shù)字多用表的輸入電壓降（電壓負(fù)擔(dān)）高達(dá)幾百毫伏，不可能完成精確的電流測(cè)量。

皮安表實(shí)質(zhì)上是靜電計(jì)中安培表功能的延續(xù)。與靜電計(jì)相比皮安表具有類似的低輸入端壓降，相同或稍快的測(cè)量速率，較低的電流靈敏度和低廉的價(jià)格。皮安表的低電壓負(fù)擔(dān)，使得它的功能更像是一個(gè)理想的電流表，因此它可以實(shí)現(xiàn)高精度的電流測(cè)量，即使是在測(cè)試具有非常低的源電壓的電路時(shí)也是如此。皮安表還可能具有其他特殊的性能，如高速對(duì)數(shù)響應(yīng)或內(nèi)置的電壓源等。

Keithley 6400 系列皮安表

吉時(shí)利的皮安表具備了數(shù)字萬用表的經(jīng)濟(jì)性和易用性，以及接近于靜電計(jì)的、對(duì)微弱電流的靈敏度。

經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的5?位 6485 型皮安表可以測(cè)量 10fA 至20mA 的電流，速度高達(dá)每秒 1000 個(gè)讀數(shù)。它結(jié)合了Keithley 在高靈敏度電流測(cè)量方面的專業(yè)技術(shù)，有更快的處理速度，堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。帶有八路電流測(cè)量范圍和高速自動(dòng)量程，電流測(cè)量范圍為 20fA-20mA。運(yùn)用最新的電流測(cè)量技術(shù)，相較于其他類似功能的儀器，價(jià)格大大降低。6485型皮安表適用于大部分實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)環(huán)境。

6485型皮安表

（1）測(cè)量電流分辨率 10fA

（2）5? 數(shù)字精度

（3）負(fù)載電壓小于 200μV

（4）內(nèi)置 Model 485 模擬模式

（5）IEEE-488 與 rs-232 接口

6482 型雙通道皮安表/電壓源提供兩個(gè)獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，它提供比 6485型更高的測(cè)量分辨率和雙獨(dú)立30V電壓偏置源。適合需要雙通道測(cè)量的多種低電平測(cè)量應(yīng)用。

由于具有雙通道測(cè)量能力，6482 型雙通道皮安表/電壓源成為一個(gè)強(qiáng)大的測(cè)量工具，適合分析多通道器件，監(jiān)控材料中多個(gè)位置的電流，并立即記錄來自多傳感器的數(shù)據(jù)。雙通道能力更容易實(shí)現(xiàn)控制和數(shù)據(jù)聚集。更高的通道密度增加了受限空間內(nèi)的儀器數(shù)量（和通道）。

6482 型雙通道皮安表/電壓源適合與電子材料及器件特性分析有關(guān)的各種應(yīng)用，包括實(shí)驗(yàn)室、研究與開發(fā)以及工廠的低電流操作。應(yīng)用領(lǐng)域包括：元器件制程測(cè)試、雙二極管測(cè)試、半導(dǎo)體元件測(cè)試、多管腳元件測(cè)試、暗電流測(cè)試、離子束監(jiān)測(cè)、電子顯微鏡。

6482型雙通道皮安表/電壓源

（1）雙通道 6 位半測(cè)量能力

（2）雙±30V 偏置電源

（3）測(cè)量電流高達(dá) 20mA

（4）測(cè)量電流分辨率 1fA

（5）0–10V 模擬輸出用于高分辨率測(cè)量反饋

（6）支持裝配工藝、最終測(cè)試、部件binning和技術(shù)規(guī)范

（7）每通道具 3000 點(diǎn)緩存，支持測(cè)試完成后數(shù)據(jù)發(fā)送

（8）觸發(fā)連接，用于器件進(jìn)倉(cāng)與掃描測(cè)試操作

（9）IEEE-488與RS-232接口

責(zé)任編輯：gt