小型共面接口壓差傳感器是一種壓力傳感器，該傳感器主要用于測(cè)量和控制兩個(gè)油路壓力差。該產(chǎn)品采用SOI硅晶圓材料制作硅壓阻式壓力敏感芯片，敏感元件的工作溫度范圍為-55~300℃，通過(guò)雙芯體結(jié)構(gòu)將油路的壓力差信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再利用精密的信號(hào)處理電路，將微弱的電信號(hào)進(jìn)行放大處理，實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)的模擬信號(hào)輸出。

1 引言

小型共面接口壓差傳感器（以下簡(jiǎn)稱(chēng)壓差傳感器）體積小、安裝緊湊、精度高、可靠性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)，尤其是敏感元件能夠適應(yīng)-55～300℃的工作環(huán)境，是測(cè)量和控制執(zhí)行器的油路壓力差的關(guān)鍵組件，通過(guò)擴(kuò)展量程、修改結(jié)構(gòu)，可以應(yīng)用于其他的類(lèi)似環(huán)境。

2 壓差傳感器工作原理

壓差傳感器的工作原理選擇擴(kuò)散硅壓阻工作機(jī)理。擴(kuò)散硅壓阻式（簡(jiǎn)稱(chēng)硅壓阻）壓力傳感器是壓阻式壓力傳感器中最成熟的技術(shù)，它利用擴(kuò)散硅電阻率的壓敏效應(yīng)，構(gòu)成惠斯登電橋的四個(gè)擴(kuò)散硅電阻，如圖1所示。

傳感器通過(guò)壓力接口感受被測(cè)介質(zhì)的壓力信號(hào)，并將其傳送給敏感芯片。芯片上的擴(kuò)散硅電阻感受到壓力作用后橋臂電阻發(fā)生相應(yīng)的變化，在激勵(lì)電源的作用下，傳感器電阻的變化也就轉(zhuǎn)變成了電信號(hào)的變化，設(shè)計(jì)專(zhuān)用的信號(hào)電路，將獨(dú)立的兩個(gè)壓力信號(hào)差值轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)輸出，其原理如圖2所示。

3 敏感元件的選擇

本項(xiàng)目研制的壓差傳感器，要求敏感元件的工作溫度范圍為-55～300℃，是一種耐高溫的壓力傳感器。如果采用通常的單晶硅晶圓材料制作敏感芯片，壓差傳感器只能達(dá)到125℃的工作溫度，因此必須選用合適的耐高溫的硅晶圓材料。SIMOX材料是一種先進(jìn)的SOI材料，其制作的壓力敏感芯片是采用體電阻結(jié)構(gòu)，通過(guò)絕緣層實(shí)現(xiàn)電阻之間的電氣隔離，而不是pn結(jié)隔離，避免了在高溫環(huán)境下反向漏電的急劇增加，從而避免傳感器在高溫環(huán)境下失效。

綜上所述，確定本項(xiàng)目的硅晶圓材料采用SIMOX材料。

4 設(shè) 計(jì)

4.1 電路設(shè)計(jì)

壓差傳感器的信號(hào)輸出為模擬電壓輸出，電路的設(shè)計(jì)采用精密差動(dòng)放大器線(xiàn)性放大壓力敏感信號(hào)，將傳感器零點(diǎn)輸出值和滿(mǎn)量程輸出值調(diào)制到標(biāo)稱(chēng)值。原理框圖如圖3。

硅壓阻壓力傳感器信號(hào)調(diào)制電路的設(shè)計(jì)具有多重功能：

①為了改善溫度特性，信號(hào)電路與敏感器件溫度補(bǔ)償網(wǎng)絡(luò)匹配組合，起到傳感器的熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移補(bǔ)償作用，傳感器的補(bǔ)償電路見(jiàn)圖4；

②采用精密差動(dòng)放大器線(xiàn)性放大壓力敏感信號(hào)（一般幾十毫伏／5 V激勵(lì)），將傳感器零點(diǎn)輸出值和滿(mǎn)量程輸出值調(diào)制到項(xiàng)目規(guī)定的標(biāo)稱(chēng)值的“歸一”功能；

③因傳感器的靈敏度和非線(xiàn)性的離散性，差壓電路須分別先調(diào)制兩個(gè)敏感器件的輸出信號(hào)，再進(jìn)行差分放大，保證差壓傳感器的特征指標(biāo)，即對(duì)稱(chēng)性指標(biāo)。

壓差傳感器的電路設(shè)計(jì)原理如圖5所示。

4.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

壓差傳感器的外形以項(xiàng)目要求為設(shè)計(jì)依據(jù)，同時(shí)考慮到環(huán)境的適應(yīng)性，進(jìn)行可靠性設(shè)計(jì)，特別是針對(duì)對(duì)稱(chēng)性和高過(guò)載能力的要求（壓差傳感器極限過(guò)載要求應(yīng)能承受±75 MPa，3倍的額定壓力），將壓差傳感器設(shè)計(jì)成雙芯體、全固態(tài)、對(duì)稱(chēng)的結(jié)構(gòu)，利用雙敏感芯片分別測(cè)量正負(fù)壓腔的壓力，其中的芯體是指封裝好敏感芯片的傳感器件。雙芯體的設(shè)計(jì)正是考慮了測(cè)量大壓力的壓差信號(hào)，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的老練篩選和對(duì)稱(chēng)性選擇后，進(jìn)行匹配，再裝配成敏感元件。壓差傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)見(jiàn)圖6。

4.3 可靠性設(shè)計(jì)

首先，壓差傳感器的敏感芯片采用SIMOX結(jié)構(gòu)基片，增強(qiáng)了環(huán)境溫度的適應(yīng)性；結(jié)構(gòu)采用全固態(tài)設(shè)計(jì)，增強(qiáng)了傳感器的環(huán)境適應(yīng)性和穩(wěn)定性。

其次，在電路中采用精密儀表放大器和熱敏電阻網(wǎng)絡(luò)技術(shù)，對(duì)傳感器的線(xiàn)性、溫度等參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。電路中各元器件盡量采用貼片封裝，不使用可動(dòng)電位器，電路板裝配后再經(jīng)過(guò)全溫區(qū)的檢測(cè)和應(yīng)力篩選，并經(jīng)過(guò)“三防”處理，電路板安裝固定采用灌封強(qiáng)化措施，具有抗振動(dòng)、抗沖擊和耐鹽霧、防霉的性能。

另外，在電路的設(shè)計(jì)中專(zhuān)門(mén)增加了EMC設(shè)計(jì)，傳感器外殼封裝實(shí)現(xiàn)無(wú)縫隙結(jié)構(gòu)，安裝孔間隙采用搭接方法處理，殼體內(nèi)置屏蔽箔片，電纜線(xiàn)屏蔽網(wǎng)與殼體連接，電路接地點(diǎn)共點(diǎn)連接方法的綜合使用，屏蔽對(duì)傳感器的電磁干擾；在電連接間使用適當(dāng)?shù)?a href="http://m.makelele.cn/tags/濾波器/" target="_blank">濾波器件，降低電路的敏感度和濾除干擾。

5 結(jié) 論

該產(chǎn)品通過(guò)SOI壓力敏感芯片的制作技術(shù)、耐高溫敏感芯體的封裝技術(shù)、低漂移調(diào)制技術(shù)和雙芯體對(duì)稱(chēng)技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，具有耐高寬溫區(qū)、小型化、抗高過(guò)載、抗高沖擊、低漂移、功能強(qiáng)和環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等特點(diǎn)，在采用SOI壓力敏感芯片、高溫復(fù)合電極的制作、耐高溫壓力敏感芯體的封裝技術(shù)、低漂移的調(diào)制技術(shù)、小型化對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等方面有所突破。

通過(guò)反復(fù)的試驗(yàn)證明，壓差傳感器在高溫的條件下可連續(xù)工作1000 h，傳感器的線(xiàn)性指標(biāo)可達(dá)到0.10％FS，遲滯、重復(fù)性達(dá)到0.03％FS，熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移均達(dá)到0.008％FS／℃以上