前不久，國務(wù)院印發(fā)的《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中，明確提出將發(fā)展先進(jìn)功能材料技術(shù)，以及新一代信息技術(shù)作為全國科研隊(duì)伍下一階段的工作方向。事實(shí)上，隨著科技的進(jìn)步，材料產(chǎn)業(yè)在工業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著越來越重要的作用，近年來氮化鎵、砷化鎵、石墨烯等新型材料在集成電路技術(shù)、新能源等領(lǐng)域帶來革命性的發(fā)展機(jī)會(huì)。在此背景下，泰克科技公司近日在重慶成功舉辦了“新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路測(cè)試測(cè)量技術(shù)研討會(huì)”，希望促進(jìn)新材料技術(shù)科研與產(chǎn)業(yè)的對(duì)話，促成材料與器件產(chǎn)業(yè)鏈良性互動(dòng)發(fā)展。

　　產(chǎn)業(yè)鏈合力迎接材料和器件技術(shù)發(fā)展新趨勢(shì)

　　本次會(huì)議正是順應(yīng)新時(shí)期的大背景，成功加強(qiáng)了全國相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)學(xué)研隊(duì)伍的交流、提供學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界相互分享最新研究成果的機(jī)會(huì)，為下一階段工作打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。來自北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、大連理工大學(xué)、中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中科大微納加工中心、西安電子科技大學(xué)、成都海威華芯科技有限公司等多家知名高校、研究所和企業(yè)專家代表共同出席了會(huì)議。

　　“新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路測(cè)試測(cè)量技術(shù)研討會(huì)”特別邀請(qǐng)了來自蘇州大學(xué)納米學(xué)院的揭建勝教授，來自中國科學(xué)院微電子研究所硅器件與集成技術(shù)研究室副研究員曾傳濱，以及泰克資深專家作為主講嘉賓，共同分享了先進(jìn)材料研究成果以及運(yùn)用半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)進(jìn)行器件、材料和半導(dǎo)體工藝電學(xué)特性分析中遇到的挑戰(zhàn)和解決思路。會(huì)議的互動(dòng)交流環(huán)節(jié)，大家對(duì)當(dāng)前熱門新材料的發(fā)展?fàn)顩r、技術(shù)挑戰(zhàn)和解決思路，以及市場(chǎng)反饋等話題展開卓有成效的交流。

　　“在泰克科技中國團(tuán)隊(duì)與企業(yè)客戶交流中，深感行業(yè)內(nèi)亟待有合適的新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路在測(cè)試測(cè)量環(huán)節(jié)的產(chǎn)業(yè)互動(dòng)平臺(tái)。”泰克科技高端產(chǎn)品市場(chǎng)經(jīng)理沈鼐叡說道，“作為擁有非常良好的產(chǎn)學(xué)研核心客戶資源的測(cè)試測(cè)量解決方案提供商，我們相信泰克可以扮演這樣的角色，在2016年初規(guī)劃本次研討會(huì)，陸續(xù)收到業(yè)界非常積極的反饋和支持。”

　　“感謝泰克舉辦本次研討會(huì)，作為企業(yè)我們希望了解新材料技術(shù)、新器件技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)以及技術(shù)解決方案，更重要的是能借助這樣的平臺(tái)與同業(yè)專業(yè)人士深度互動(dòng)交流，兩天時(shí)間大家碰撞出了不少火花?！焙ＭA芯科技的參會(huì)代表會(huì)后指出。一整天的會(huì)議課程以及另外一天的學(xué)習(xí)、參觀以及交流活動(dòng)，大家收獲滿滿但卻意猶未盡，會(huì)后大家一致意見希望這個(gè)交流平臺(tái)能持續(xù)開展。沈鼐叡表示泰克科技計(jì)劃以后每一年將舉辦一次這樣的產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)學(xué)研專家、學(xué)者和工程師交流會(huì)，明年會(huì)邀請(qǐng)更多重量級(jí)專家和企業(yè)代表與會(huì)。

　　以新材料和器件測(cè)試為主題的專家演講分享、會(huì)后深度互動(dòng)為大家提供了卓有成效的交流平臺(tái)。

　　新材料帶來的新器件技術(shù)突破、機(jī)遇與挑戰(zhàn)

　　揭建勝教授長(zhǎng)期致力于低維半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)的制備、表征及應(yīng)用研究，探索納米材料在新一代電子、光電子、能源等重要領(lǐng)域的應(yīng)用。會(huì)上，揭建勝教授發(fā)表“有機(jī)微納單晶圖案陣列化及高性能光電器件”主題演講，他深度分享了有機(jī)單晶材料在器件制造中的應(yīng)用，并分享了在實(shí)際應(yīng)用中的挑戰(zhàn)以及其團(tuán)隊(duì)在高性能光電器件應(yīng)用中，基于小分子有機(jī)微/納米晶體（SMOC）技術(shù)的應(yīng)對(duì)策略。

　　“摩爾定律的驅(qū)動(dòng)，集成電路制造技術(shù)不斷巧妙的突破物理極限，HKMG及FinFET等技術(shù)都已經(jīng)成熟地產(chǎn)業(yè)化，并已帶領(lǐng)行業(yè)來到7nm制程節(jié)點(diǎn)?！?揭建勝在演講中指出，“而有機(jī)材料的探索是一個(gè)重要的方向，我們認(rèn)為SMOC已經(jīng)是高性能光電器件的重要基礎(chǔ)材料，目前已經(jīng)開發(fā)出來兩種SMOC大規(guī)模生產(chǎn)的方法，可以實(shí)現(xiàn)非常棒的一致性和可重復(fù)生產(chǎn)能力。”新型器件的特性或失效機(jī)制，器件可靠性上的新的退化機(jī)理與理論模型等諸多方面的研究成果都為下一個(gè)制程的器件研發(fā)提供了指導(dǎo)方向。

　　專家就材料與器件研究中的理論、方法和經(jīng)驗(yàn)在多個(gè)專題演講中進(jìn)行了深度的探討和分享。

　　新材料及半導(dǎo)體器件的測(cè)試挑戰(zhàn)是大家共同面對(duì)的問題，也是本次會(huì)議的另一大主題。在實(shí)際研發(fā)工作中，設(shè)計(jì)者都面臨投產(chǎn)周期越來越短，參數(shù)提取、仿真與測(cè)量的難度越來越高等等諸多挑戰(zhàn)。曾傳濱研究員在主題為“如何提高半導(dǎo)體IV特性測(cè)試穩(wěn)定性”的演講中以具體的案例分析了解決這些挑戰(zhàn)的測(cè)試建議。演講中，曾傳濱結(jié)合泰克4200-SCS參數(shù)分析儀就探針臺(tái)的配置、測(cè)試系統(tǒng)設(shè)置進(jìn)行了分享，并就測(cè)試中探針臺(tái)對(duì)測(cè)試可能產(chǎn)生的影響、測(cè)試線纜可能產(chǎn)生的影響等專業(yè)要點(diǎn)進(jìn)行了分析。

　　除了行業(yè)專家的精彩分享，泰克專家與參會(huì)者共同探討了“新型材料與器件的研究成果”以及“突破與挑戰(zhàn)-半導(dǎo)體集成電路發(fā)展交流”。泰克資深技術(shù)應(yīng)用經(jīng)理趙詠梅在演講中指出，業(yè)界對(duì)新材料的研究一直在不懈地進(jìn)行，像揭建勝教授所領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊(duì)所涉足的如碳納米管材料，以及當(dāng)前引起全球廣泛關(guān)注的石墨烯的研究，業(yè)界都已經(jīng)獲得一些技術(shù)突破，為器件性能的提升帶來了新的希望。演講中，泰克專家還分享了為應(yīng)對(duì)更嚴(yán)苛的工作環(huán)境，業(yè)界對(duì)寬禁帶半導(dǎo)體、超導(dǎo)材料及新型光電材料等等領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀。趙詠梅還指出，“另一方面，面對(duì)像物聯(lián)網(wǎng)，可穿戴設(shè)備應(yīng)用等這些來自于消費(fèi)類電子市場(chǎng)的新需求，基于有機(jī)材料的半導(dǎo)體器件，以及電化學(xué)領(lǐng)域中新型儲(chǔ)能材料的研究也迅速的發(fā)展?！?/p>

　　作為在微電子和半導(dǎo)體材料研究領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的4200-SCS參數(shù)分析儀，一直在材料和集成電路研發(fā)中給專業(yè)人士極大的幫助，也成為兩天會(huì)議中大家討論交流最多的話題之一。主辦方泰克科技也在本次大會(huì)的同期開展了4200-SCS參數(shù)分析儀應(yīng)用技術(shù)文章征集活動(dòng)，被錄取的文章將獲得獎(jiǎng)勵(lì)并錄入成冊(cè)成為新材料及集成電路參數(shù)性能測(cè)試分析的非常有價(jià)值的參考文獻(xiàn)。