多層阻抗板打樣生產(chǎn)制造 圖

1.0目的：

規(guī)范阻抗板生產(chǎn)制作，使產(chǎn)品滿足客戶要求。

2.0范圍：

適應(yīng)于阻抗板生產(chǎn)制作及品質(zhì)接受。

3.0職責(zé)：

QA負(fù)責(zé)指引的制訂與修改、監(jiān)督指引的實(shí)施。

生產(chǎn)部門(mén)負(fù)責(zé)指引的實(shí)施。

工藝負(fù)責(zé)監(jiān)督指引的實(shí)施與相關(guān)技術(shù)的支持。

物理室負(fù)責(zé)阻抗板的檢測(cè)和數(shù)據(jù)的記錄及統(tǒng)計(jì)，提供給上司及有關(guān)部門(mén)。

4.0 阻抗板生產(chǎn)制作：

4.1投料：

4.1.1、 使用的板料類(lèi)型、板料厚度、銅箔厚度必須按MI要求生產(chǎn)。

4.1.2、 阻抗板不接受自壓芯板的方式以及銅面微蝕的方式進(jìn)行制作。（壓合厚度及銅厚無(wú)法完全控制在范圍內(nèi)）

4.2內(nèi)層線路：

4.2.1 、對(duì)位曝光前菲林線寬、線隙檢測(cè)，對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查，避免定位問(wèn)題出現(xiàn)。

4.2.2 、對(duì)位曝光時(shí)必須先做首板QA用百位鏡檢測(cè)阻抗線寬/線距在MI所要求的范圍內(nèi)及開(kāi)/短路等問(wèn)題，合格才可批量生產(chǎn)。

4.2.3 、曝光生產(chǎn)過(guò)程中，每生產(chǎn)1PNL板用粘塵轆清潔菲林一次；每生產(chǎn)25PNL對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查一次和用酒精對(duì)曝光玻璃、麥拉清洗一次。

4.2.4 、阻抗板盡量避免返工。（不要采用阻抗板做曝光尺，生產(chǎn)時(shí)可采用其它板來(lái)做）

4.2.5、顯影放板時(shí)必須將有阻抗線控制那一面朝下放板，如兩面都有阻抗線的板，阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。

4.3內(nèi)層蝕刻：

4.3.1、 阻抗線寬（阻抗條及板內(nèi)阻抗線）要求控制在要求的中上限。例如：阻抗線寬要求：0.20mm，公差+/-10%，那么蝕刻后要求阻抗線寬控制在0.20mm--0.22mm之間。（因棕化時(shí)有微蝕或返工，對(duì)線寬有一定影響）

4.3.2、蝕刻放板時(shí)需將有阻抗線控制那一面朝下放板，如兩面都有阻抗線的板，阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。

4.3.3、阻抗板必須先做首板滿足要求后才能批量生產(chǎn)，如不合格，需重新做首板，直到合格后才可批量生產(chǎn)。

4.3.4、阻抗板批量生產(chǎn)過(guò)程中必須加嚴(yán)檢測(cè)頻率，每生產(chǎn)30PNL做一次線寬檢測(cè)，發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)知會(huì)相關(guān)人員跟進(jìn)改善。

4.4 AOI：

4.4.1、阻抗線如有開(kāi)路及缺口，可以進(jìn)行邦線，但邦線后必須加嚴(yán)檢測(cè)，保證邦線后的阻抗線線寬及結(jié)合力能夠滿足要求。

4.4.2、阻抗條上如有開(kāi)路及缺口，同樣必須邦線，其在后序的阻抗檢測(cè)中，檢測(cè)阻抗條的結(jié)果同樣可以代表生產(chǎn)板的阻抗情況。

4.5棕化：

4.5.1、必須先做首板確認(rèn)OK后才能批量生產(chǎn)。

4.5.2、阻抗板至多返工一次。（因前處理有微蝕，返工次數(shù)過(guò)多，會(huì)造成線幼、減少線路銅厚影響阻抗值）

4.6壓合：

4.6.1、使用的銅箔、PP片及層壓結(jié)構(gòu)必須按MI要求生產(chǎn)。

4.6.2、注意壓板參數(shù)的控制，盡可能保證板厚的一致性。

4.6.3、阻抗板壓合工序沒(méi)有生產(chǎn)過(guò)的板，需先做2--5PNL首板進(jìn)行壓合，壓合后給QA用長(zhǎng)臂板厚測(cè)量?jī)x全測(cè)板厚及全檢板面品質(zhì)，并送物理室作微切片分析各介電層厚度、銅厚，并記錄相關(guān)數(shù)據(jù)及報(bào)告。

4.6.4、每批阻抗板經(jīng)過(guò)壓合后，QA均需按30%的比例對(duì)板厚、板面品質(zhì)檢測(cè)，確認(rèn)厚度是否滿足MI要求，并進(jìn)行相關(guān)記錄，有問(wèn)題及時(shí)反饋。

4.7外層線路：

4.7.1、對(duì)位曝光前菲林線寬、線隙檢測(cè)，對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查，避免定位問(wèn)題出現(xiàn)。

4.7.2、對(duì)位曝光時(shí)必須先做首板QA用百位鏡檢測(cè)阻抗線寬/線距在MI所要求的范圍內(nèi)及開(kāi)/短路等問(wèn)題，合格才可批量生產(chǎn)。

4.7.3、曝光生產(chǎn)過(guò)程中，每生產(chǎn)3PNL板用粘塵轆清潔菲林、曝光玻璃、麥拉一次；每套菲林生產(chǎn)25PNL對(duì)菲林進(jìn)行品質(zhì)檢查一次和用酒精對(duì)曝光玻璃、麥拉清洗一次。

4.7.4、顯影放板時(shí)必須將有阻抗線控制那一面朝下放板，如兩面都有阻抗線的板，阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。

4.7.5、生產(chǎn)的阻抗板QA抽檢時(shí)按AQL0.40 進(jìn)行抽檢，并嚴(yán)格按0收1退執(zhí)行。

4.8圖形電鍍：

4.8.1、注意夾板方式及電鍍參數(shù)的控制，保證板面銅厚盡可能一致；如果阻抗條設(shè)計(jì)在板邊，且上夾具后有阻抗條的一邊靠近缸壁，那么電鍍時(shí)最外邊的夾具上應(yīng)夾邊條。

4.8.2、沒(méi)做過(guò)的板需做首板，按要求參數(shù)做一飛巴板后，隨機(jī)抽1PNL送物理室打切片確認(rèn)孔銅、面銅、錫厚是否合格，合格后隨機(jī)抽1-2PNL板進(jìn)行蝕刻，蝕刻時(shí)確保線寬/線距在MI要求范圍內(nèi)，并送物理室進(jìn)行阻抗值檢測(cè)，根據(jù)具體結(jié)果再?zèng)Q定后面如何做板。 （注：銅厚、線寬與阻抗值成反比）

4.9蝕刻：

4.9.1 、每批阻抗板蝕刻時(shí)需做1—2PNL首板送物理室檢測(cè)阻抗值，首板生產(chǎn)時(shí)操作員需記好生產(chǎn)的參數(shù)，依據(jù)阻抗儀檢測(cè)的結(jié)果來(lái)調(diào)整蝕刻參數(shù)及線寬的大小。

4.9.2、生產(chǎn)過(guò)程中停機(jī)、未連續(xù)生產(chǎn)同一型號(hào)的阻抗板達(dá)1小時(shí)或超過(guò)1小時(shí)以上需按4.9.1要求重做首板檢測(cè)阻抗值確認(rèn)OK后才能批量生產(chǎn)。

4.9.3、蝕刻工序生產(chǎn)時(shí)阻抗值控制在要求的中上限，例如：特性阻抗要求50 Ω±10%，阻抗值控制在50--55Ω之間；差分阻抗值要求90Ω±10%，阻抗值控制在90--99 Ω之間。（因綠油工序生產(chǎn)后特性阻抗會(huì)減少阻抗值2--4Ω，差分阻抗值會(huì)減少阻抗值3--8Ω）

4.9.4、蝕刻放板時(shí)需將有阻抗線控制那一面朝下放板，如兩面都有阻抗線的板，阻抗線較多或線路較密的一面朝下放板生產(chǎn)。

4.9.5、如果在阻抗合格的情況下，線寬偏差太大，超出MI要求范圍時(shí)則需通知ME及QA共同跟進(jìn)處理。 4.9.6、經(jīng)首板確認(rèn)阻抗值、線寬OK后批量生產(chǎn)，批量生產(chǎn)時(shí)的參數(shù)需按確認(rèn)OK首板的參數(shù)生產(chǎn)；生產(chǎn)過(guò)程中每生產(chǎn)50PNL送1PNL到物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量，并作記錄，如發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)人員跟進(jìn)處理。

4.9.7、每批阻抗板在蝕檢工序檢驗(yàn)時(shí)，蝕檢QA按5%的比例抽板送物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量，并作記錄， 如發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)通知相關(guān)人員跟進(jìn)處理。

4.9.8、對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程中或蝕檢QA送板到物理室進(jìn)行阻抗值測(cè)量，發(fā)現(xiàn)阻抗偏下線或超出最大上限時(shí)需進(jìn)行全測(cè)，并作標(biāo)識(shí)分開(kāi)，注明阻抗值的情況，以便綠油工序生產(chǎn)時(shí)相對(duì)調(diào)整綠油厚度控制阻抗。

4.10 綠油：

4.10.1、正常阻抗板生產(chǎn)時(shí)按正常生產(chǎn)參數(shù)和流程生產(chǎn)。

4.10.2、對(duì)于蝕刻工序生產(chǎn)過(guò)程中檢測(cè)外層阻抗偏下線或超出最大上限的板時(shí)需相對(duì)調(diào)整綠油厚度控制阻抗。但此板需先做1-2PNL首板檢測(cè)阻抗，阻抗檢測(cè)合格，按首板參數(shù)絲印綠油生產(chǎn)；阻抗檢測(cè)不合格，需重新調(diào)整相關(guān)參數(shù)重做首板確認(rèn)阻抗OK后才能生產(chǎn)。 （注：綠油厚度與阻抗值成反比）

4.11 其它：

上述4.1—4.10中未設(shè)計(jì)到的其它工序按本廠的相關(guān)要求正常生產(chǎn)控制。

5.0阻抗檢測(cè)：

由工序送阻抗板到物理室，在泰克（DSA8200）阻抗測(cè)量?jī)x進(jìn)行阻抗檢測(cè)。

6.0接受標(biāo)準(zhǔn)：

6.1阻抗值公差

6.1.1、阻抗值公差MI中有特別要求時(shí)，按MI要求控制。

6.1.2、當(dāng)MI中阻抗值公差沒(méi)有要求時(shí)，阻抗要求值50Ω以下，允許公差為±5Ω，阻抗要求值50Ω或50Ω以上，允許公差為±10%。

6.2外層阻抗

6.2.1、蝕刻特性阻抗可以比要求阻抗值最上限大4歐姆，超出4歐姆的打報(bào)廢；蝕刻生產(chǎn)時(shí)一般要求控制在要求阻抗的中上限（因阻抗綠油生產(chǎn)后會(huì)減少阻抗值2--4Ω）。

6.2.2、蝕刻差分阻抗可以比要求阻抗值最上限大8歐姆，超出8歐姆的打報(bào)廢；蝕刻生產(chǎn)時(shí)一般要求控制在要求阻抗的中上限（因阻抗綠油生產(chǎn)后會(huì)減少阻抗值3--8Ω）。

6.2.3、蝕刻后阻抗值小于要求阻抗值最下限時(shí)打報(bào)廢處理。

6.2.4、綠油后阻抗值可以比要求的最小阻抗值小3Ω可以接受，超出的打報(bào)廢；綠油后阻抗值可以比要求的最大阻抗值大3Ω可以接受，超出的打報(bào)廢。

6.3內(nèi)層阻抗

阻抗值可以比要求的最小阻抗值小3Ω可以接受，超出的打報(bào)廢；阻抗值可以比要求的最大阻抗值大3Ω可以接受，超出的打報(bào)廢。