7月26日消息，為應(yīng)對(duì)日本出口限制，韓國(guó)大企業(yè)開(kāi)始展開(kāi)脫日行動(dòng)，SK集團(tuán)計(jì)劃通過(guò)子公司生產(chǎn)高純度氟化氫，并在明年上半年投入量產(chǎn)。

據(jù)韓國(guó)《etnews》、《朝鮮日?qǐng)?bào)》等多家媒體報(bào)道，SK集團(tuán)子公司SK Mertials計(jì)劃今年完成試制品，籌備生產(chǎn)高純度氟化氫。SK Mertials相關(guān)人士表示，正在開(kāi)發(fā)相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備，目標(biāo)是在年底提供樣品。

在日本對(duì)韓出口限制名單中，氟化氫便是其中一個(gè)品項(xiàng)，韓國(guó)氟化氫有41.9％從日本進(jìn)口，其中高純度氟化氫（99.999％以上）有9成以上依賴(lài)日本。

氟化氫是半導(dǎo)體材料蝕刻氣體的原料之一，在芯片制造工程中，用于刻畫(huà)電路、清潔硅片異物，其中氣態(tài)與液態(tài)的氟化氫能夠混合使用，液態(tài)產(chǎn)品被稱(chēng)為蝕刻液，氣態(tài)則是蝕刻氣體。

SK Mertials計(jì)劃制造氣態(tài)的氟化氫，即蝕刻氣體，并供應(yīng)給半導(dǎo)體業(yè)界?！秂tnews》指出，由于SK年底才會(huì)推出樣品，明年上半年有望投入正式量產(chǎn)。

SK Mertials自1982年起生產(chǎn)半導(dǎo)體材料，是韓國(guó)首度國(guó)產(chǎn)化三氟化氮（NF3）的企業(yè)，三氟化氮為半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池原料之一，此外也生產(chǎn)工業(yè)燃?xì)饬u（WF6），供貨給石油產(chǎn)業(yè)、鋼鐵產(chǎn)業(yè)。

雖然SK Mertials擁有豐富制造經(jīng)驗(yàn)，但首次生產(chǎn)氟化氫引起外界關(guān)注。SK Mertials對(duì)此表示，過(guò)去曾處理過(guò)原料氟，并累積許多相關(guān)制造經(jīng)驗(yàn)，擁有制造高純度氟化氫的實(shí)力。

SK Matials尚未公布投資規(guī)模、生產(chǎn)能力（CAPA）等細(xì)節(jié)，加上產(chǎn)品也需經(jīng)過(guò)質(zhì)量鑒定，能否應(yīng)用到半導(dǎo)體制程仍是未知數(shù)。