近日，南大光電在互動平臺透露，寧波南大光電目前已安裝完成第一條ArF（193nm）光刻膠生產(chǎn)線，該產(chǎn)線仍處于調(diào)試階段。目前，研發(fā)的產(chǎn)品正在測試、認證過程中，尚未形成量產(chǎn)和銷售。

2019年7月，南大光電在互動平臺透露，公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”落地實施。

2019年10月，南大光電公告稱，公司與寧波經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會簽署了《投資協(xié)議書》，擬在寧波經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)投資開發(fā)高端集成電路制造用各種先進光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料，形成規(guī)?；a(chǎn)能力，建立配套完整的國產(chǎn)光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈。該項目計劃總投資6億元，預(yù)計總用地50畝。項目完全達產(chǎn)后，預(yù)計實現(xiàn)約10億元的年銷售額，年利稅預(yù)計約2億元。

資資料顯示，南大光電主要從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，通過承擔(dān)國家重大技術(shù)攻關(guān)項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。目前，公司形成MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料等業(yè)務(wù)板塊。值得注意的是，2017年，南大光電還承擔(dān)了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”（以下簡稱193nm光刻膠項目）。

對于兩個光刻膠項目之間的聯(lián)系，南大光電此前在公告中強調(diào)，“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”系兩個獨立的項目。公司稱，投建新項目是為加大對先進光刻膠材料以及配套原材料的建設(shè)。
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