據(jù)報(bào)道，日前，中科漢韻半導(dǎo)體有限公司（簡稱“中科漢韻”）設(shè)備陸續(xù)進(jìn)場安裝調(diào)試，明年5月全面達(dá)產(chǎn)后，將年產(chǎn)5000片碳化硅功率器件等分立半導(dǎo)體器件。

此外，中科漢韻董事長袁述表示，設(shè)備在陸陸續(xù)續(xù)的安裝中，從***到薄膜，到刻蝕化學(xué)腐蝕離子注入等等，都是比較先進(jìn)的。大概到明年二月底之前希望能夠全部進(jìn)來安裝。

據(jù)了解，中科漢韻二期項(xiàng)目計(jì)劃2021年開始實(shí)施，全新配置6寸工藝線，將成為國內(nèi)首家規(guī)?；a(chǎn)碳化硅MOSFET芯片和模塊的企業(yè)。

中科漢韻成立于2019年1月，位于江蘇徐州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，是由中國科學(xué)院微電子研究所和徐州中科芯韻半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資基金共同在徐州投資的半導(dǎo)體芯片企業(yè)。

據(jù)介紹，公司聚焦于第3代半導(dǎo)體碳化硅MOSFET芯片和模塊的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，定位于電動(dòng)汽車、數(shù)據(jù)中心、機(jī)器人等新基建用碳化硅器件核心技術(shù)的跟蹤、創(chuàng)新和技術(shù)引領(lǐng)。一期配置4寸工藝線，年產(chǎn)5000片碳化硅功率器件等分立半導(dǎo)體器件。
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