光刻機是半導體制造過程中，最具技術(shù)含量的設(shè)備，有著“現(xiàn)代半導體行業(yè)皇冠上的明珠”的美譽。

目前，僅ASML一家便占據(jù)全球高端光刻機市場89%的份額，剩余份額則被尼康與佳能所占據(jù)。在中國，我國光刻機被牢牢卡住了脖子，制約了半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

任正非：光刻機“卡脖子”的事你們別管

中國光刻機被“卡脖子”的境況令人著急，不過任正非卻警醒眾人，不要一股腦地涌進來。

在2020年11月，C9（包括北大、清華、復旦、哈工大等9大高校的中國首個頂尖大學高校聯(lián)盟）高校校長去華為參觀拜訪時，任正非稱，大學不要管當前的“卡脖子”，大學的責任是“捅破天”。

任正非表示，目前“卡脖子”問題大多為工程科學、應(yīng)用科學方面的問題，查閱一些國外論文便能夠做出來，卡不住我們的脖子。

因而，任正非認為，大學應(yīng)該著眼于未來二三十年國家與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要，而不是眼前兩三年的問題。否則眼前問題解決后，又會有新問題出現(xiàn)。

任正非的一番話十分有遠見，事實也正在證明，任正非的判斷沒有錯，光刻機卡不住中國的脖子。

國產(chǎn)光刻機雙喜臨門

近來，中國光刻機連續(xù)迎來兩大好消息。

大族激光傳來喜訊

大族激光是全球第三、亞洲最大的工業(yè)激光加工設(shè)備生產(chǎn)廠商，擁有200多種工業(yè)激光設(shè)備與智能裝備解決方案，是中國激光設(shè)備最全的企業(yè)。

從2019年開始，大族激光便開始布局光刻機。鏡頭、激光光源是光刻機兩大核心部件，因此，大族激光攻克光刻機技術(shù)，有一定的基礎(chǔ)。

1月14日，大族激光在互動平臺上透露，公司研發(fā)的光刻機項目分辨率為3-5μm，已經(jīng)實現(xiàn)小批量銷售。

不過，大族激光的光刻機產(chǎn)品并不是用于集成電路制造，而是分立器件、LCD等領(lǐng)域，是較為低端的光刻機設(shè)備。

雖然如此，大族激光自研光刻機還是有著，推動了光刻機國產(chǎn)替代的進程的重要意義。

芯源微：國產(chǎn)前道涂膠顯影機誕生

芯源微背靠中科院沈陽自動化研究所，從事半導體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)。目前，青島芯恩、臺積電、長江存儲等，都是芯源微的客戶。

芯源微的光刻工序涂膠顯影設(shè)備，成功打破了海外的壟斷。目前，在集成電路前道晶圓加工環(huán)節(jié)，國產(chǎn)化設(shè)備正逐步實現(xiàn)小批量替代。

近來，芯源微更是披露，公司前道涂膠顯影機與國際光刻機聯(lián)機的技術(shù)問題已經(jīng)攻克并通過驗證，可以與包括ASML、佳能等國際品牌，以及國內(nèi)的上海微電子的光刻機聯(lián)機應(yīng)用。

這標志著，國產(chǎn)替代化進程又前進了一步。

沉睡的雄獅已經(jīng)覺醒

以上種種都印證了，中國光刻機并非沒有打破壟斷的希望。

如今，國產(chǎn)替代化已經(jīng)成為一種大趨勢，中國半導體產(chǎn)業(yè)正在加速發(fā)展，在芯片設(shè)計、半導體材料等領(lǐng)域，我國不斷傳來新的突破。國產(chǎn)芯片實現(xiàn)自主化，未來可期，沉睡的雄獅已經(jīng)覺醒。

在最難攻克的光刻機領(lǐng)域，中科院已經(jīng)公開表態(tài)，將集結(jié)全院的力量，攻克光刻機等“卡脖子”難題。

同時，上海微電子、華卓精科等光刻機相關(guān)企業(yè)，也早已默默努力。華為精科已經(jīng)成為全球第二個，也是唯二掌握高端光刻機雙工件臺的企業(yè)。

相信在多方共同努力之下，中國半導體產(chǎn)業(yè)將實現(xiàn)自主可控，不用再依賴進口。
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