近日，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（CiMEMS）微納制造工藝中心（下稱“CiMEMS工藝中心”）首批4臺MEMS工藝設(shè)備順利搬入剛剛裝修完成的超凈間。首批設(shè)備的搬入，標(biāo)志著CiMEMS工藝研發(fā)線建設(shè)實(shí)現(xiàn)了階段性成效，進(jìn)入到主體設(shè)備安裝、調(diào)試的新階段。

CiMEMS工藝中心擁有超凈廠房總面積約1100平方米，其中包括千級潔凈區(qū)約650平方米，百級潔凈區(qū)125平方米。微納工藝對實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求極高，除了要求空氣超級潔凈外，還必須嚴(yán)格控制室內(nèi)溫度、濕度、壓力、氣流速度和氣流分布等，并將噪聲、振動及靜電等控制在極小的范圍。

CiMEMS工藝中心自2022年5月起開始動工建設(shè)，目前已完成超凈廠房內(nèi)部環(huán)境裝修，MEMS工藝設(shè)備已開始陸續(xù)搬入并進(jìn)行二次配管，預(yù)計(jì)明年3月正式實(shí)現(xiàn)工藝通線。

CiMEMS工藝中心一期設(shè)備采購約60臺/套，采購金額超過6000萬元。建成后，CiMEMS工藝中心將成為國內(nèi)乃至國際一流的MEMS微納工藝研發(fā)線，主要用于開發(fā)各種先進(jìn)MEMS器件，比如MEMS微鏡芯片、高端慣性MEMS傳感器芯片，以及特種MEMS工藝和半導(dǎo)體材料。所開發(fā)的光學(xué)及慣性MEMS芯片主要用于智能感知、投影、光學(xué)成像、激光雷達(dá)、光通信及光譜分析等領(lǐng)域。

北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（CiMEMS）聚焦集成電路和MEMS微納傳感器，已形成了“1個工藝中心 + 4個核心研究方向”的研究體系，旨在建設(shè)先進(jìn)微納制造平臺，引領(lǐng)智能感知前沿，將依托西永微電子產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，驅(qū)動科技創(chuàng)新，助力重慶建設(shè)成為具有全國影響力的科技創(chuàng)新中心。

審核編輯 ：李倩