氧化釩非制冷紅外探測器敏感材料詳解
紅外探測器是紅外熱成像技術(shù)的核心元器件，它能夠感知紅外輻射并且將紅外輻射轉(zhuǎn)化成電信號(hào)輸出，目前世界上主流的紅外探測器的敏感材料主要是氧化釩和非晶硅兩種，本文詳細(xì)介紹紅外熱成像氧化釩敏感材料。
氧化釩敏感材料采用微測輻射熱計(jì)技術(shù)與CMOS工藝兼容，能夠與CMOS讀出電路集成，可以基于半導(dǎo)體制造工藝大規(guī)模生產(chǎn)制造，屬于半導(dǎo)體熱敏薄膜，薄膜電阻溫度系數(shù)與電阻率都成正比關(guān)系。
氧化釩敏感材料早在1978年取得突破性研發(fā)進(jìn)展，它的靈敏度要高于a-Si敏感材料，所以Vox敏感材料的器件成像效果要優(yōu)于a-Si。
紅外熱成像探測器供應(yīng)商高芯科技非制冷紅外探測器采用Vox技術(shù)路線，覆蓋金屬、陶瓷、晶圓級(jí)三種封裝工藝，面陣規(guī)格從小面陣120x90，256x192到主流面陣384x288、640x512到高清百萬像素1280x1024分辨率紅外探測器產(chǎn)品。系列產(chǎn)品靈敏度高，可靠性好，并與國內(nèi)外龍頭紅外熱成像集成商密切合作，立足于讓紅外熱成像技術(shù)惠及大眾。
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