SK海力士研發(fā)可重復(fù)使用CMP拋光墊技術(shù)
據(jù)韓媒 ETNews 27 日披露，SK 海力士成功研發(fā)可重復(fù)使用的 CMP 拋光墊技術(shù)，此舉既降本又有利于提升環(huán)境、社會、治理（ESG）效果。
據(jù)悉，該公司計劃率先在較低風(fēng)險工藝中運用可再生拋光墊，并逐步推廣至更多領(lǐng)域。
需要指出的是，CMP 技術(shù)通過化學(xué)與機(jī)械作用使得待拋光材料表面達(dá)到所需平滑程度。其中，拋光液中化學(xué)物質(zhì)與材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成易于拋光的軟化層。拋光墊和研磨顆粒則負(fù)責(zé)物理機(jī)械拋光，清除這一軟化層。
在 CMP 制程中，拋光墊發(fā)揮著重要功能。譬如，它使拋光液能在加工區(qū)域均勻分布并提供補(bǔ)充拋光液實現(xiàn)循環(huán)，同時迅速清除工件拋光面上的殘余物以及施加用于材料去除的機(jī)械載荷，以及保持拋光所需的機(jī)械和化學(xué)環(huán)境。此外，拋光墊的表面組織特征如微孔、孔隙率及溝槽形狀等，也可通過影響拋光液流動和分布進(jìn)而影響拋光效率和平坦性。
為了實現(xiàn)拋光墊的重復(fù)利用，SK 海力士采取了 CMP 拋光墊表盤紋理重建策略。目前，韓國約 70%的 CMP 拋光墊來自海外，對外依存度高。此次技術(shù)突破有望助力韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)更高程度的自給自足。
聲明：本文內(nèi)容及配圖由入駐作者撰寫或者入駐合作網(wǎng)站授權(quán)轉(zhuǎn)載。文章觀點僅代表作者本人，不代表電子發(fā)燒友網(wǎng)立場。文章及其配圖僅供工程師學(xué)習(xí)之用，如有內(nèi)容侵權(quán)或者其他違規(guī)問題，請聯(lián)系本站處理。
舉報投訴
-
CMP
+關(guān)注
關(guān)注
7文章
160瀏覽量
27760 -
拋光
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
63瀏覽量
12142 -
SK海力士
+關(guān)注
關(guān)注
0文章
1007瀏覽量
41637
發(fā)布評論請先 登錄
相關(guān)推薦
熱點推薦
KV緩存黑科技！SK海力士“H3存儲架構(gòu)”，HBM和HBF技術(shù)加持！
structure）”，同時采用了HBM和HBF兩種技術(shù)。 ? 在SK海力士設(shè)計的仿真實驗中，H3架構(gòu)將HBM和HBF顯存并置于GPU旁，由GPU負(fù)責(zé)計算。該公司將8個HBM3E和8個HBF置于英偉達(dá)
SK海力士HBS存儲技術(shù)，基于垂直導(dǎo)線扇出VFO封裝工藝
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道，據(jù)韓媒報道，存儲行業(yè)巨頭SK海力士正全力攻克一項全新的性能瓶頸技術(shù)高帶寬存儲HBS。 ? SK海力士
SK海力士發(fā)布未來存儲路線圖
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道，近日，韓國首爾舉行的“SK AI Summit 2025”峰會上，SK海力士CEO郭魯正（Kwak Noh-Jung）正式宣布了公司向 “全線AI存儲創(chuàng)造者”（Full
SK海力士ZUFS 4.1閃存，手機(jī)端AI運行時間縮短47%！
電子發(fā)燒友網(wǎng)綜合報道，SK海力士宣布，已正式向客戶供應(yīng)其全球率先實現(xiàn)量產(chǎn)的移動端NAND閃存解決方案產(chǎn)品ZUFS 4.1。 ? SK海力士通過與客戶的密切合作，于今年6月成功完成了該產(chǎn)
SK海力士321層4D NAND的誕生
SK海力士致力于成為“全方位面向AI的存儲器供應(yīng)商（Full Stack AI Memory Provider）”，不僅在DRAM領(lǐng)域持續(xù)創(chuàng)新，在NAND閃存（NAND Flash，以下簡稱NAND
半導(dǎo)體國產(chǎn)替代材料 | CMP化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical Mechanical Planarization）
一、CMP工藝與拋光材料的核心價值化學(xué)機(jī)械拋光（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）是半導(dǎo)體制造中實現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的關(guān)鍵工藝，通過“化學(xué)腐蝕+
SK海力士在微細(xì)工藝技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)先實力
SK海力士的成功神話背后，離不開眾多核心技術(shù)的支撐，其中最令人矚目的便是“微細(xì)工藝”。通過對肉眼難以辨識的微細(xì)電路進(jìn)行更為精細(xì)化的處理，SK海力士
全球CMP拋光液大廠突發(fā)斷供？附CMP拋光材料企業(yè)盤點與投資邏輯（21361字）
(CMP)DSTlslurry斷供：物管通知受臺灣出口管制限制，F(xiàn)ab1DSTSlury(料號:M2701505,AGC-TW)暫停供貨，存貨僅剩5個月用量(267桶)。DSTlslurry?是一種用于半導(dǎo)體制造過程中的拋光液，主要用于化學(xué)機(jī)械
SK海力士HBM技術(shù)的發(fā)展歷史
SK海力士在鞏固其面向AI的存儲器領(lǐng)域領(lǐng)導(dǎo)地位方面，HBM1無疑發(fā)揮了決定性作用。無論是率先開發(fā)出全球首款最高性能的HBM，還是確立并保持其在面向AI的存儲器市場的領(lǐng)先地位，這些成就的背后皆源于SK
SK海力士宋清基TL榮庸發(fā)明日銅塔產(chǎn)業(yè)勛章
SK海力士宣布，5月19日于首爾COEX麻谷會展中心舉行的“第60屆發(fā)明日紀(jì)念儀式”上，來自HBM開發(fā)部門的宋清基TL榮庸銅塔產(chǎn)業(yè)勛章。
SK海力士如何成為面向AI的存儲器市場領(lǐng)跑者
近年來，SK海力士屢獲創(chuàng)新成果，這些成就皆得益于“一個團(tuán)隊”協(xié)作精神（One Team Spirit）”。無論是創(chuàng)下歷史最佳業(yè)績、開發(fā)出全球領(lǐng)先產(chǎn)品，還是躍升成為全球頂級面向AI的存儲器供應(yīng)商，這些
SK海力士以基于AI/DT的智能工廠推動HBM等核心產(chǎn)品的營收增長
近日，SK海力士宣布，在首爾江南區(qū)韓國科學(xué)技術(shù)會館舉行的“2025年科學(xué)?信息通訊日紀(jì)念儀式”上，公司數(shù)字化轉(zhuǎn)型組織的都承勇副社長榮獲了科學(xué)技術(shù)信息通信部頒發(fā)的銅塔產(chǎn)業(yè)勛章。
英偉達(dá)供應(yīng)商SK海力士盈利大增158%
得益于AI需求的有力推動；高帶寬內(nèi)存(HBM)需求持續(xù)暴漲，這帶動了英偉達(dá)供應(yīng)商SK海力士盈利大增158%。 據(jù)SK海力士公布的財務(wù)業(yè)績數(shù)據(jù)顯示，在2025年第一季度
SK海力士強(qiáng)化HBM業(yè)務(wù)實力的戰(zhàn)略規(guī)劃
隨著人工智能技術(shù)的迅猛發(fā)展，作為其核心支撐技術(shù)的高帶寬存儲器（以下簡稱HBM）實現(xiàn)了顯著的增長，為SK海力士在去年實創(chuàng)下歷史最佳業(yè)績做出了不可或缺的重要貢獻(xiàn)。業(yè)內(nèi)普遍認(rèn)為，
SK海力士已完成收購英特爾NAND業(yè)務(wù)部門的第二（最終）階段交易
3 月 28 日消息，根據(jù) SK 海力士向韓國金融監(jiān)管機(jī)構(gòu) FSS 披露的文件，該企業(yè)已在當(dāng)?shù)貢r間今日完成了收購英特爾 NAND 閃存及 SSD 業(yè)務(wù)案的第二階段，交易正式完成。 這筆交易
工商網(wǎng)監(jiān)
評論