來源：上海微技術(shù)工研院

近年來，隨著集成電路技術(shù)和微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的飛速發(fā)展，非制冷紅外焦平面陣列探測器技術(shù)日趨成熟，系列化產(chǎn)品也逐步實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。上海工研院聚焦“超越摩爾”集成電路核心工藝研發(fā)，并于2018年開始布局非制冷紅外探測器技術(shù)。經(jīng)過多年的技術(shù)研發(fā)和攻關(guān)，建立由標(biāo)準(zhǔn)模塊工藝組成的紅外傳感器成套工藝平臺。

上海工研院已經(jīng)為多家重要客戶提供非制冷紅外探測器通用工藝和定制化工藝服務(wù)，包括非晶硅和氧化釩（VOx）技術(shù)路線，多顆產(chǎn)品進(jìn)入量產(chǎn)，產(chǎn)品性能優(yōu)越。就像元尺寸而言，上海工研院已成功量產(chǎn)17μm和12μm的產(chǎn)品，8μm像元的產(chǎn)品也已完成技術(shù)開發(fā)，正在開始小批量量產(chǎn)。從陣列規(guī)模上看，上海工研院可以提供從小到大不同像素超大陣列產(chǎn)品的選擇，幫助客戶提升產(chǎn)品競爭力。

圖1 氧化釩非制冷紅外探測器成套工藝

隨著越來越多客戶提出更多的技術(shù)需求，上海工研院將進(jìn)一步優(yōu)化已有平臺工藝，持續(xù)開發(fā)新的技術(shù)，并不斷提高產(chǎn)品良率和工藝的穩(wěn)定性，為廣大客戶提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。

審核編輯 黃宇