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純度達(dá)到99.999999999%,江蘇鑫華半導(dǎo)體成功量產(chǎn)電子級(jí)多晶硅

半導(dǎo)體動(dòng)態(tài) ? 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò)整理 ? 作者:工程師吳畏 ? 2018-06-08 09:45 ? 次閱讀
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中國(guó)正在半導(dǎo)體行業(yè)奮起直追,但整體差距依然非常大,比如用來(lái)制造芯片的硅晶圓,就掌握在日本、德國(guó)、韓國(guó)等的極少數(shù)企業(yè)手中。

不過(guò)我們也在一個(gè)個(gè)地突破!據(jù)報(bào)道,江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司已經(jīng)成功量產(chǎn)純度要求達(dá)到99.999999999%的電子級(jí)多晶硅,在在經(jīng)過(guò)一系列嚴(yán)格驗(yàn)證、檢測(cè)之后,不但供應(yīng)給國(guó)內(nèi)市場(chǎng),還出口到了韓國(guó)。

這標(biāo)志著,我國(guó)半導(dǎo)體集成電路用硅料已經(jīng)達(dá)到國(guó)際一流質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),這也是我國(guó)多晶硅制造企業(yè)首次向國(guó)際市場(chǎng)出口集成電路用高純度硅料。過(guò)去中國(guó)基本完全依賴進(jìn)口。

電子級(jí)多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,也是純度最高的多晶硅材料。太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的純度要求只有99.9999%,電子級(jí)則多了五個(gè)9。

更形象地說(shuō),5000噸電子級(jí)多晶硅里的雜質(zhì)含量,只有大約6克,相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量。

2015年12月,鑫華半導(dǎo)體由國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資38億元,建設(shè)國(guó)內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線,2017年11月8日正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。

目前,該電子級(jí)多晶硅已通過(guò)客戶驗(yàn)證,并形成規(guī)模化銷售,打破長(zhǎng)期以來(lái)國(guó)外高純度材料壟斷,填補(bǔ)該產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)技術(shù)空白。

鑫華半導(dǎo)體的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)能可保證國(guó)內(nèi)企業(yè)3-5年內(nèi)不缺貨,產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm工藝及以下極大規(guī)模集成電路用300mm尺寸單晶制造需求,同時(shí)還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線,更好地滿足國(guó)際國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。

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