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北海道大學(xué):基于ZnO納米粒子激光誘導(dǎo)石墨烯的超靈敏可拉伸應(yīng)變傳感器

傳感器專家網(wǎng) ? 2024-11-20 15:13 ? 次閱讀
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背景介紹


激光誘導(dǎo)石墨烯(LIG)采用自下而上的方法,通過(guò)激光照射將碳前驅(qū)體直接轉(zhuǎn)化為多孔的三維石墨烯。LIG作為一種宏觀尺度、低成本的導(dǎo)電材料,具有巨大的潛力,既可拉伸又可彎曲。由于LIG可以用作活性傳感材料,因此進(jìn)一步提高性能對(duì)于解鎖利用尖端技術(shù)的先進(jìn)應(yīng)用至關(guān)重要。自2014年發(fā)現(xiàn)以來(lái),在開(kāi)發(fā)基于LIG的可彎曲和可拉伸應(yīng)變傳感器方面取得了巨大進(jìn)展。根據(jù)應(yīng)用技術(shù)或使用的材料,報(bào)告的研究可分為四個(gè)主要領(lǐng)域。這些類別包括(i)LIG復(fù)合材料——LIG與MoS2、HfSe2、黑磷和MXene-Ti3C2Tx@EDOT;(ii)轉(zhuǎn)移方法——低溫轉(zhuǎn)移等技術(shù)可增強(qiáng)水凝膠和LIG之間的機(jī)械結(jié)合,LIG的水剝離轉(zhuǎn)移可增強(qiáng)電導(dǎo)率;(iii)LIG上波形的形成和(iv)LIG結(jié)晶度的提高——LIG的閃光愈合和激光紋理化工藝。盡管生產(chǎn)LIG的方法多種多樣,但現(xiàn)有的基于LIG的可拉伸傳感器對(duì)人體皮膚的敏感性相對(duì)較低,在10%應(yīng)變下的平均應(yīng)變系數(shù)(GF)為182.3±93.7。與關(guān)節(jié)周圍皮膚拉伸的應(yīng)變值相比,這種敏感性限制變得明顯,肘部彎曲15°時(shí)約為10%,手腕彎曲約為2%。因此,增加GF對(duì)于實(shí)現(xiàn)精確的皮膚拉伸測(cè)量至關(guān)重要,這將有助于推進(jìn)基于LIG的可穿戴設(shè)備的發(fā)展。


本文亮點(diǎn)


1. 本工作證明了通過(guò)使用ZnO納米粒子(NP)輔助光熱增強(qiáng)制造LIG,可以顯著提高靈敏度。

2. 通過(guò)將PI上形成的LIG轉(zhuǎn)移到聚二甲基硅氧烷上,制造了一種具有超高靈敏度的可拉伸應(yīng)變傳感器,在10%應(yīng)變下的應(yīng)變系數(shù)為1214,比沒(méi)有ZnO NP的應(yīng)變系數(shù)高出約60倍。

3. 利用LIG的選擇性石墨化特性,展示了一種配備柔性應(yīng)變和紫外線(UV)傳感器的柔性雙面集成傳感器片。該表能夠同時(shí)監(jiān)測(cè)運(yùn)動(dòng)可穿戴設(shè)備的紫外線強(qiáng)度和關(guān)節(jié)彎曲角度。

4. 我們將開(kāi)發(fā)的傳感器連接到跑步者的身體上,以監(jiān)測(cè)和模擬前腳和腳跟的撞擊,從而驗(yàn)證了該傳感器的超高靈敏度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性,而不需要相機(jī)。


圖文解析


圖1. 選擇性轉(zhuǎn)換ZnO納米粒子(NP)輔助激光誘導(dǎo)石墨烯(LIG)。(a) 通過(guò)波長(zhǎng)為10.6μm的CO2激光照射制備選擇性ZnO NP輔助LIG的工藝。(b) LIG的示意圖和照片被選擇性地轉(zhuǎn)化為大學(xué)標(biāo)志圖案形狀。經(jīng)北海道大學(xué)2024許可轉(zhuǎn)載。(c) ZnO NP輔助選擇性圖案化LIG的光學(xué)圖像。(d) 有和沒(méi)有ZnO NP的LIG的拉曼光譜。(e) 能量色散X射線光譜圖圖像顯示了選擇性轉(zhuǎn)換LIG中的碳、氧和鋅分布;比例尺,50 μm。(f) 在不同的ZnO NP直徑和不同的旋涂速度(即ZnO NP厚度)下,將每個(gè)樣品轉(zhuǎn)化為L(zhǎng)IG所需的臨界通量(?crit)。(g) ?涂有各種平均直徑(25和200 nm)的ZnO NP且不含ZnO的PI轉(zhuǎn)化為L(zhǎng)IG所需的臨界值;?crit繪制在左側(cè)y軸上,ZnO厚度繪制在右側(cè)y軸上。(h) 紅外攝像頭圖像。(i) 溫度隨時(shí)間變化,用50 mW激光照射到基板上的單個(gè)點(diǎn)上,在聚酰亞胺(PI)上以500 rpm涂覆和不涂覆ZnO NP(平均直徑25 nm)。


圖2. 紫外線(UV)和彎曲應(yīng)變傳感器。(a) 單面UV傳感器(傳感器1)和另一側(cè)彎曲應(yīng)變傳感器(傳感器2)的雙面?zhèn)鞲衅鞯闹圃旃に?。(b) ZnO納米粒子(NP)紫外光電探測(cè)器的光學(xué)顯微鏡圖像。(c) 在黑暗條件下和1000 μW/cm2紫外線照射下記錄的電流-電壓曲線。(d) ZnO NP光電探測(cè)器在+10 V偏壓下1000 μW/cm2紫外輻照度下的實(shí)時(shí)光響應(yīng)。(e) 傳感器在不同紫外線強(qiáng)度下的響應(yīng)。(f) 彎曲應(yīng)變傳感器LIG形成過(guò)程中50、100和200 μm激光掃描間隔的光學(xué)顯微鏡圖像。(g) 在有和沒(méi)有ZnO NP的情況下,以及在不同激光掃描間隔下,應(yīng)變下電阻變化率(ΔR/R0)值的比較;粗線表示彎曲值,細(xì)線表示釋放值。(h) 連續(xù)應(yīng)變作用下的實(shí)時(shí)響應(yīng)。(i) 應(yīng)變傳感器在0.32%應(yīng)變范圍內(nèi)進(jìn)行了2000多次循環(huán)的長(zhǎng)期循環(huán)測(cè)試。插圖突出顯示了傳感器在測(cè)量開(kāi)始和結(jié)束時(shí)的響應(yīng)。(j) 本研究與先前研究中報(bào)告的傳感器之間的靈敏度和應(yīng)變范圍的比較。


圖3. 可拉伸激光誘導(dǎo)石墨烯(LIG)應(yīng)變傳感器。(a) 可拉伸LIG應(yīng)變傳感器的制造工藝。(b) 剝離嵌入LIG層的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜的照片。(c)LIG-PDMS和聚酰亞胺(PI)薄膜上殘留LIG的拉曼光譜,有和沒(méi)有ZnO納米粒子(NP)。(d) 在有和沒(méi)有ZnO NP的情況下轉(zhuǎn)移到PDMS的LIG結(jié)構(gòu)的掃描電鏡圖像。(e) LIG可拉伸染色傳感器。(f) 電阻變化率(ΔR/R0)是有和沒(méi)有ZnO NP和不同方向的傳感器施加應(yīng)變的函數(shù):沿激光掃描方向在垂直和平行應(yīng)變方向上涂覆ZnO NP的PI薄膜,在垂直方向上沒(méi)有ZnO NP的LIG。(g) 不同菌株應(yīng)用下的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。(h) 在各種循環(huán)應(yīng)變的應(yīng)用下進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。(i) 本研究和現(xiàn)有研究對(duì)可拉伸應(yīng)變傳感器的測(cè)量因子和應(yīng)用應(yīng)變進(jìn)行了基準(zhǔn)比較。(j)在4%應(yīng)變下進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)2000次循環(huán)的長(zhǎng)期循環(huán)試驗(yàn)。插圖突出顯示了傳感器在測(cè)量開(kāi)始和結(jié)束時(shí)的響應(yīng)。(k) 可拉伸應(yīng)變傳感器的響應(yīng)和恢復(fù)時(shí)間。


圖4. 雙面集成紫外線(UV)和彎曲應(yīng)變傳感器。(a) 電阻變化率(ΔR/R0)是使用彎曲應(yīng)變傳感器測(cè)量的壓縮彎曲應(yīng)變的函數(shù)。(b) ΔR/R0是使用紫外光電探測(cè)器測(cè)量的各種紫外強(qiáng)度下應(yīng)變的函數(shù)。(c) 在+10V偏壓下,傳感器在不同紫外線強(qiáng)度下的紫外線響應(yīng)。(d) 雙面集成傳感器的照片;一側(cè)的UV傳感器和另一側(cè)的彎曲應(yīng)變傳感器。(e) 雙面?zhèn)鞲衅髌谧贤饩€和彎曲應(yīng)變應(yīng)用下的電阻實(shí)時(shí)變化,并對(duì)紫外線響應(yīng)進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償。


圖5. 跑步姿勢(shì)監(jiān)測(cè)。(a)腳上傳感器的照片。(b) 兩種跑步姿勢(shì)的照片:前腳觸地和腳跟觸地。三個(gè)傳感器在(c)前腳觸地跑和(d)腳跟觸地跑過(guò)程中的實(shí)時(shí)阻力變化率。基于跑步過(guò)程中(e)前腳觸地和(f)腳跟觸地三個(gè)傳感器實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的動(dòng)畫。

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