隨著信息化時代的來臨，信息量爆炸式增長，采用傳統(tǒng)的集成電路處理龐大的數(shù)據(jù)已經(jīng)越發(fā)捉襟見肘。而光子集成回路和光子芯片具有低功耗、高速率、大帶寬等優(yōu)勢，是未來光信息處理系統(tǒng)的一種可行方案。光子芯片一般包括片上光源、信號處理和信號探測三個主要部分。把具有不同材料、不同結(jié)構(gòu)和不同功能的微納光子器件精確、可控地集成在單個芯片上是實現(xiàn)光子芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。近日，北京大學“極端光學創(chuàng)新研究團隊”發(fā)展了一種高精度的暗場光學成像定位技術(shù)（位置不確定度僅21nm），并結(jié)合電子束套刻工藝，實現(xiàn)了片上量子點微盤激光器與銀納米線表面等離激元波導的精確、并行、無損集成。這種微盤－銀納米線復合結(jié)構(gòu)同時具有介質(zhì)激光器與表面等離激元波導的優(yōu)勢，因此不僅具有介質(zhì)激光器的低閾值與窄線寬特性，而且具有表面等離激元波導的深亞波長場束縛特性?；谶@種靈活、可控的制備方法，他們實現(xiàn)了片上微盤激光器與表面等離激元波導間多種形式的精確可控集成，包括切向集成、徑向集成以及復雜集成，并且對量子點無任何加工損傷；進一步，通過同時集成多個片上微盤激光器與多個銀納米線表面等離激元波導，他們獲得了多模、單色單模以及雙色單模的深亞波長（0．008λ2）相干輸出光源。

這些高性能的深亞波長相干輸出光源可以容易地耦合并分配至其它深亞波長表面等離激元光子器件和回路中。因此，這種靈活、可控的精確集成方法在高集成密度的光子－表面等離激元復合光子回路中具有重要應用，并且這種方法可以拓展到其它材料和其它功能的微納光子器件集成中，為未來光子芯片的實現(xiàn)提供了一種可行的解決方案。該工作于2018年5月發(fā)表在Advanced Materials上（Advanced Materials 2018， 30， 1706546），并以卷首插畫（Frontispiece）的形式予以重點報道。文章的第一作者為北京大學物理學院博士研究生容科秀，陳建軍研究員為通訊作者。該研究工作得到了國家自然科學基金委、科技部、人工微結(jié)構(gòu)和介觀物理國家重點實驗室、量子物質(zhì)科學協(xié)同創(chuàng)新中心和極端光學協(xié)同創(chuàng)新中心等的支持。

圖1 片上膠體量子點微盤激光器與銀納米線表面等離激元波導的精確、并行、無損集成