近日，江西省專利獎(jiǎng)評選結(jié)果正式揭曉，中微公司憑借發(fā)明專利 “化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器或外延層生長反應(yīng)器及其支撐裝置”（發(fā)明人：尹志堯、姜勇）榮膺殊榮。該專利精準(zhǔn)攻克了金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備的核心技術(shù)難題，并通過創(chuàng)新成果向成熟產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的高效轉(zhuǎn)化，為公司實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。

江西省專利獎(jiǎng)是經(jīng)中央功勛辦批復(fù)同意保留的評比表彰項(xiàng)目，由省政府主辦，省市場監(jiān)管局承辦，每3年評選一次，設(shè)置江西省專利獎(jiǎng)15項(xiàng)、江西省專利轉(zhuǎn)化運(yùn)用獎(jiǎng)15項(xiàng)，重點(diǎn)獎(jiǎng)勵(lì)優(yōu)秀發(fā)明專利項(xiàng)目。

中微公司此次獲獎(jiǎng)的 “化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器或外延層生長反應(yīng)器及其支撐裝置”專利應(yīng)用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）設(shè)備。MOCVD設(shè)備作為生產(chǎn)LED芯片、功率器件及射頻器件等半導(dǎo)體器件的核心裝備，其中基片承載架的驅(qū)動(dòng)與支撐穩(wěn)定性更是制約行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵。傳統(tǒng)摩擦驅(qū)動(dòng)模式易出現(xiàn)打滑現(xiàn)象，且高溫環(huán)境下的熱膨脹易導(dǎo)致設(shè)備損傷，嚴(yán)重影響工藝精度與生產(chǎn)效率。中微公司此次獲獎(jiǎng)專利創(chuàng)新性提出 “插接部精準(zhǔn)驅(qū)動(dòng) + 支撐面平穩(wěn)承載” 的雙重架構(gòu)，從根本上破解了這一難題。通過插接部與凹進(jìn)部的推動(dòng)力傳遞替代摩擦力驅(qū)動(dòng)，解決了旋轉(zhuǎn)打滑問題；大面積支撐面設(shè)計(jì)有效抑制基片承載架工藝搖擺，而預(yù)留的間隙結(jié)構(gòu)可自適應(yīng)高溫?zé)嶙冃?，確保設(shè)備長期運(yùn)行的結(jié)構(gòu)可靠性與工藝穩(wěn)定性。

依托該專利技術(shù)，中微公司構(gòu)建了覆蓋多應(yīng)用場景的 MOCVD 設(shè)備矩陣，涵蓋 LED 外延片量產(chǎn)設(shè)備 PRISMO D-BLUE、深紫外 LED 設(shè)備 PRISMO HiT3、功率器件外延設(shè)備 PRISMO PD5 及 Mini LED 生產(chǎn)設(shè)備 PRISMO UniMax 等核心產(chǎn)品。其中最新一代 PRISMO UniMax 設(shè)備憑借優(yōu)異的波長均勻性與產(chǎn)能優(yōu)勢，在Mini LED背光顯示與直顯外延片領(lǐng)域的市占率突破90%，成為全球領(lǐng)先企業(yè)的首選裝備。

與此同時(shí)，中微公司還斬獲另一榮譽(yù)獎(jiǎng)項(xiàng)。近日，在由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、江西省知識(shí)產(chǎn)權(quán)局與九江市政府聯(lián)合主辦的第二屆 “長高賽”（長江經(jīng)濟(jì)帶高價(jià)值專利轉(zhuǎn)化運(yùn)用大賽）中，中微公司依托核心專利 “氣體噴淋頭、其制造方法及薄膜生長反應(yīng)器”，憑借 IP 團(tuán)隊(duì)與 MOCVD 團(tuán)隊(duì)的精心準(zhǔn)備和緊密答辯協(xié)作，歷經(jīng)三輪比拼，從沿江 11 ?。ㄖ陛犑校?410 個(gè)參賽項(xiàng)目中脫穎而出，以第一名的成績斬獲金獎(jiǎng)，并且位列金獎(jiǎng)排名第一。

中微公司于2017年落戶南昌高新區(qū)，成立全資子公司南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“南昌中微”），并于2018年9月順利實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。2023年7月，總建筑面積約14萬平方米的南昌研發(fā)與生產(chǎn)基地正式建成并投入使用。南昌中微作為技術(shù)轉(zhuǎn)化核心基地，先后斬獲“國家高新技術(shù)企業(yè)”、“江西省制造業(yè)單項(xiàng)冠軍企業(yè)”、“國家專精特新小巨人企業(yè)”、“江西省半導(dǎo)體專用設(shè)備工程研究中心”等榮譽(yù)稱號(hào)。

中微公司南昌研發(fā)與生產(chǎn)基地

此外，MOCVD 設(shè)備作為 LED 照明、氮化鎵功率器件等節(jié)能產(chǎn)品制造的關(guān)鍵裝備，中微公司通過專利技術(shù)的規(guī)?；瘧?yīng)用，助力下游產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)節(jié)能降耗。據(jù)測算，其設(shè)備所生產(chǎn)的 LED 產(chǎn)品相較傳統(tǒng)照明可節(jié)電 70% 以上，為全球綠色低碳發(fā)展貢獻(xiàn)力量。

攀登勇者，志在巔峰。中微公司將瞄準(zhǔn)“打造世界級(jí)裝備企業(yè)”的戰(zhàn)略目標(biāo)，不斷加大研發(fā)力度，持續(xù)夯實(shí)公司在高端微觀加工設(shè)備領(lǐng)域的核心競爭力，秉承“五個(gè)十大”的企業(yè)文化，即“產(chǎn)品開發(fā)十大原則”、“戰(zhàn)略銷售十大準(zhǔn)則”、“營運(yùn)管理十大章法”、“精神文化十大作風(fēng)”和“領(lǐng)導(dǎo)能力十大要點(diǎn)”，堅(jiān)持三維立體發(fā)展戰(zhàn)略，堅(jiān)持有機(jī)生長和外延擴(kuò)展的策略，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的高質(zhì)量發(fā)展，力爭盡早成為高端設(shè)備平臺(tái)化公司，在規(guī)模上和競爭力上成為國際一流的半導(dǎo)體設(shè)備公司！

關(guān)于中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司

中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領(lǐng)先的加工設(shè)備和工藝技術(shù)解決方案。中微公司開發(fā)的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細(xì)分刻蝕設(shè)備已可以覆蓋大多數(shù)刻蝕的應(yīng)用。中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于國內(nèi)和國際一線客戶，從65納米到5納米及更先進(jìn)工藝的眾多刻蝕應(yīng)用。中微公司最近十年著重開發(fā)多種導(dǎo)體和半導(dǎo)體化學(xué)薄膜設(shè)備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設(shè)備，并取得了可喜的進(jìn)步。中微公司開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產(chǎn)的MOCVD設(shè)備早已在客戶生產(chǎn)線上投入量產(chǎn)，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設(shè)備市場占據(jù)領(lǐng)先地位。此外，中微公司已全面布局光學(xué)和電子束量檢測設(shè)備，并開發(fā)多種泛半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備。這些設(shè)備都是制造各種微觀器件的關(guān)鍵設(shè)備，可加工和檢測微米級(jí)和納米級(jí)的各種器件。這些微觀器件是現(xiàn)代數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，它們正在改變?nèi)祟惖纳a(chǎn)方式和生活方式。